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            電鏡腔等離子清潔儀
            電鏡腔等離子清潔儀

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            美國(guó)

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            邁可諾技術(shù)有限公司

            會(huì)員

            |

            第2年

            |

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            電鏡腔等離子清潔儀(遠(yuǎn)程等離子清潔儀)

            美國(guó)PIE出品的EM-KLEEN型遠(yuǎn)程等離子清潔儀,廣泛用于SEM掃描電鏡,F(xiàn)IB聚焦離子束雙束電鏡,TEM透射電鏡,XPS_X射線(xiàn)光電子能譜分析儀,ALD原子層沉積系統(tǒng),CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系統(tǒng),可同時(shí)清潔真空腔室和樣品!

            污染物對(duì)電子顯微鏡SEM/TEM和其它高真空系統(tǒng)產(chǎn)生的影響

            潤(rùn)滑劑、真空脂、泵油樣品中的高分子聚合物,或未經(jīng)處理的空氣都會(huì)把碳?xì)湮廴疚镆秸婵障到y(tǒng)中。低蒸汽壓下高分子重污染物會(huì)凝聚在樣品表面和腔室壁上,而使用普通氣體吹掃方法很難把碳?xì)湮廴疚锴宄?/p>

            電子和高能光子(EUV, X-ray)能夠分解存在于真空系統(tǒng)中或樣品上的碳?xì)湮廴疚?。碳?xì)浠衔锏姆纸猱a(chǎn)物沉積在被觀(guān)測(cè)的樣品表面或電子光學(xué)部件上。這種碳?xì)湮廴境练e會(huì)降低EUV的鏡面反射率,降低SEM圖像對(duì)比度和分辨率,造成錯(cuò)誤的表面分析結(jié)果,沉積在光闌或其它電子組件的不導(dǎo)電碳?xì)湮廴疚锷踔習(xí)斐呻娮邮恢没蚓劢咕徛?。在A(yíng)LD系統(tǒng)中,樣品表面的碳?xì)湮廴疚镞€會(huì)降低薄膜的界面匹配質(zhì)量。

            遠(yuǎn)程等離子清潔的原理

            遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上,控制器向遠(yuǎn)程離子源提供射頻能量。射頻電磁場(chǎng)能激發(fā)等離子體,分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基,活性基會(huì)擴(kuò)散到下游的真空腔室,并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)可同時(shí)清潔真空系統(tǒng)和樣品。

            技術(shù)特點(diǎn):

            快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。不需減速或關(guān)閉渦輪分子泵

            低等離子偏壓設(shè)計(jì)減少離子濺射和顆粒生成。結(jié)合自有**多級(jí)氣體過(guò)濾技術(shù),SEMI-KLEEN能夠滿(mǎn)足用戶(hù)*苛刻的顆粒污染清除要求

            可選藍(lán)寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器,以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應(yīng)用

            特有的等離子強(qiáng)度傳感器可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子狀態(tài),用戶(hù)對(duì)等離子狀態(tài)一目了然

            基于壓力傳感回饋控制的自動(dòng)電子流量控制器,無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)針閥

            直觀(guān)的觸摸屏操作,可定義60條清洗程序方案

            擁有智能安全操作模式和專(zhuān)家控制模式;SmartScheduleTM定時(shí)裝置,通過(guò)檢測(cè)樣品裝載次數(shù)或時(shí)間間隔來(lái)定時(shí)清潔系統(tǒng)

            低電磁干擾設(shè)計(jì),安靜的待機(jī)模式

            一. 特有功能

            1. 優(yōu)越的等離子技術(shù),可以在小于0.1毫托的氣壓下點(diǎn)火并且保持穩(wěn)定的等離子體。*低工作氣壓比其他同類(lèi)產(chǎn)品低10到100倍。低氣壓清洗速度更快,更均勻,對(duì)電子槍和分子泵更安全;

            2. 即時(shí)等離子起輝技術(shù)。不用像在其他同類(lèi)產(chǎn)品上那樣擔(dān)心等離子是不是成功起輝;

            3. 帶氣壓計(jì)的自動(dòng)氣體流量控制;

            4. 實(shí)時(shí)測(cè)量等離子強(qiáng)度,用戶(hù)可以根據(jù)這個(gè)實(shí)時(shí)反饋來(lái)優(yōu)化清洗配方;

            5. 自動(dòng)射頻匹配實(shí)時(shí)保證**化射頻耦合,即使用戶(hù)調(diào)節(jié)清洗配方;

            6. **保護(hù)的雙層顆粒過(guò)濾器設(shè)計(jì)保證我們的產(chǎn)品滿(mǎn)足Intel,臺(tái)積電,三星等半導(dǎo)體用戶(hù)的嚴(yán)格顆粒污染要求;

            7. 帶LCD觸摸屏的直觀(guān)操作界面;

            8. 微電腦控制器帶可修改的智能清洗計(jì)劃,設(shè)好就自動(dòng)清洗您的系統(tǒng);

            9. 支持清洗配方,一鍵開(kāi)始,自動(dòng)射頻匹配,自動(dòng)控制氣體流量;

            10. 微電腦控制器可記錄所有信息狀態(tài),便于系統(tǒng)維護(hù)。

            二. 技術(shù)指標(biāo)

            1. 等離子源真空接口:NW/KF40 法蘭; 提供轉(zhuǎn)接法蘭;

            2. 標(biāo)配等離子強(qiáng)度傳感器;

            3. 等離子源*低點(diǎn)火起輝氣壓:<0.1毫托;

            4. 等離子源**工作氣壓:>1.0 托;

            5. 漏氣率:<0.005sccm;

            6. 射頻輸出:0~100瓦,連續(xù)可調(diào)節(jié);

            7. 具有射頻自動(dòng)匹配功能

            8. 電源和功率:220V, 50Hz,

            創(chuàng)新點(diǎn)

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            10分

            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性?xún)r(jià)比

            10分
            評(píng)論內(nèi)容
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