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隨著半導(dǎo)體變得越來(lái)越小和越來(lái)越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過(guò)程的更上游。使用MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)進(jìn)行的晶圓級(jí)可靠性測(cè)試通過(guò)一系列壓力測(cè)試收集數(shù)據(jù)，以識(shí)別可能影響器件長(zhǎng)期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級(jí)可靠性測(cè)試之后可以進(jìn)行進(jìn)一步的和廣泛的故障分析。
系統(tǒng)構(gòu)建在一個(gè)重型，通用的平臺(tái)上，能夠配置為處理各種探測(cè)應(yīng)用。
電動(dòng)XY夾頭，SPS-2600中的電動(dòng)壓板，SPS 2800中卡盤的電動(dòng)Z軸運(yùn)動(dòng)，標(biāo)準(zhǔn)配置。Motorized theta是一種選擇。
基于伺服電機(jī)的直線光柵尺。
**成本競(jìng)爭(zhēng)力，非?？焖伲咝У慕鉀Q方案
強(qiáng)烈推薦用于中等規(guī)模生產(chǎn)或其他吞吐量很重要的應(yīng)用
型號(hào) | SPS-12000-HS | SPS-2800-HS | SPS-2600-HS |
晶圓尺寸 | 高達(dá)300mm | 高達(dá)200mm | 高達(dá)100mm |
電機(jī)類型 | 伺服電機(jī) | ||
顯微鏡 | 高品質(zhì)立體聲變焦，工作距離可達(dá)200mm，放大倍率范圍為3.5X至180X | ||
饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
系統(tǒng)尺寸 | 101CM寬x91CM深x 88CM高 | 122CM寬x122CM深x 92CM高 | 78CM寬x80CM深x 58CM高 |
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