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            MicroXact標準半自動探針臺
            MicroXact標準半自動探針臺

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            美國

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            邁可諾技術(shù)有限公司

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            MicroXact的半自動探針臺提供多種選擇,包括加熱/冷卻晶圓卡盤,標準或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺分度,為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動探針臺有三種選擇(標準,高精度和高速)。

            光滑的粉末涂層鋼板可容納多達10個磁性或真空定位器。

            通過位于站兩側(cè)的終端隔離饋通,可以方便地連接微定位器,可以為BNC,TriaxBanana插頭連接進行定制。

            標準吊桿安裝組件,用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

            可用的高分辨率微定位器,帶80TPI螺釘,用于探針的μm級定位。

            可用的RF選項包括可定制的RF探頭,RF偏置卡盤和屏蔽罩。

            高分辨率復(fù)合顯微鏡。

            偏光顯微鏡。

            廣泛的相機選擇。

            射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

            拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

            超完全真空泵。

            標準半自動化系統(tǒng)

            電動XY夾頭,SPS-2600中的電動壓板,SPS 2800中卡盤的電動Z軸運動,標準配置。Motorized theta是一種選擇。

            基于步進電機,無編碼器。

            **成本競爭力

            強烈推薦用于需要低于0°C的測試或屏蔽的應(yīng)用

            可用選項:加熱或冷卻卡盤,變焦鏡或復(fù)合顯微鏡,各種屏蔽,用于直流和射頻測量的卡盤選擇等等

            型號

            SPS-2800

            SPS-2600

            晶圓尺寸

            高達200mm

            高達100mm

            電機類型

            步進電機

            XY舞臺行程

            高達200mmx200mm

            高達125mmx125mm

            XY舞臺分辨率

            電動,6.5μm重復(fù)性

            顯微鏡

            高品質(zhì)立體聲變焦,工作距離可達200mm,放大倍率范圍為3.5X180X

            饋通終端

            BNC,Triax或香蕉插頭

            系統(tǒng)尺寸

            122厘米寬x122厘米深x 92厘米高

            78厘米寬x80厘米深x 58厘米高

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            10分

            售后服務(wù)

            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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