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BASIXX ST20+（?200毫米）臺(tái)式旋涂機(jī)，帶電動(dòng)介質(zhì)臂

BASIXX ST20（?200毫米）臺(tái)式旋涂機(jī)

BASIXX ST20+實(shí)驗(yàn)室臺(tái)式勻膠機(jī)

是一款緊湊的旋涂，顯影，清潔和干燥半自動(dòng)系統(tǒng)，旨在為科學(xué)和研究領(lǐng)域的用戶提供高效，安全和清潔的實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)。 該設(shè)備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理，例如編寫(xiě)，編輯，保存和加載。 服務(wù)區(qū)提供用于手臂和旋轉(zhuǎn)板以及介質(zhì)控制的設(shè)置選項(xiàng)。 還集成了可通過(guò)USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能。

特點(diǎn)：

÷直驅(qū)無(wú)刷微調(diào)電機(jī)

÷全軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)且完全可編程

÷具有程序菜單管理功能的軟件控制

÷帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷旋轉(zhuǎn)器蓋傳感器控制

÷通過(guò)觸摸屏或按鈕啟動(dòng)程序

÷7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺(tái)式外殼

÷外殼上的電源開(kāi)關(guān)ON / OFF

÷配備標(biāo)準(zhǔn)的水坑噴嘴，通過(guò)水坑噴嘴注入溶劑

÷可拆卸處理碗和飛濺環(huán)，便于清潔

÷可處理圓形晶片，尺寸**為?200mm（?8英寸）

÷可處理方形基板，尺寸**為150 x 150毫米（6 x 6英寸）

÷標(biāo)配*多安裝3個(gè)介質(zhì)管線/噴嘴（可選：*多5個(gè)介質(zhì)管線/噴嘴）

÷可視真空控制儀

÷真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動(dòng)和系統(tǒng)運(yùn)行來(lái)控制

÷含0.5 Itr的廢液瓶

÷可選的帶Z軸移動(dòng)和PR分配系統(tǒng)的電動(dòng)介質(zhì)臂

÷可作為臺(tái)式安裝，也可做獨(dú)立裝置使用

÷簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)高效

÷專為研究所，實(shí)驗(yàn)室和基礎(chǔ)研發(fā)而設(shè)計(jì)

應(yīng)用于：旋涂，顯影，清潔和干燥

產(chǎn)品參數(shù)：

可處理襯底尺寸：直徑**為?200mm（?8英寸）圓片，或**為150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；

旋轉(zhuǎn)速度：**10，000rpm *，（以rpm步長(zhǎng)為單位）；

加速度：**4.000 rpm / sec *；

處理時(shí)間：1至999，9sec，以0.1秒為步；

處理碗：可更換，聚丙烯（PP）材質(zhì)

腔體：白色（PP）材質(zhì)

固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤；

電源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz

真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直徑6 mm

排氣-過(guò)程：1x外徑38毫米，約 30立方米/小時(shí)

氮?dú)猓蛇x）：4土0.2 bar，PFA管外徑6 mm

CDA（可選）：8土2bar，管外徑8mm。

選配項(xiàng)：

適用各種尺寸大小的托盤

分配臂

泵