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SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動探針臺，設計靈活且易于使用。這些手動探針系統(tǒng)的高性能和經濟性使它們屬于自己的一類。憑借高達200mm的晶圓功能，DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項，我們的探針臺可用于廣泛的應用，例如故障分析，可靠性測試，IV / CV測試，低目前的測試，微波和射頻表征等等。
使用MicroXact手動探針臺進行IV，CV和低電流測試，可提供半導體器件表征所需的精確和精確測量。由于提供多種選項和MicroXact手動探針臺的靈活性，晶圓上的晶圓級電容和低電流測試從未如此簡單。
特征
手動平臺組裝可提供額外的預載滑塊，便于裝載和卸載晶圓或樣品。
手動控制壓板和卡盤Z位置，進行粗調和微調。
光滑的鑄鋼壓板可容納多達10個磁性或真空定位器。
同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。
標準吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位。
可用的RF選項包括可定制的RF探頭，RF卡盤和屏蔽罩。
型號 | SPS-1000 | SPS-2000 | SPS-2200 |
晶圓尺寸 | 高達150mm | 高達100mm | 高達200mm |
XY舞臺行程 | 100mmx100mm或150mmx150mm標準 | 高達125mmx125mm | 高達200mmx200mm |
系統(tǒng)尺寸 | 56厘米寬x 51厘米深x 61厘米高 | 92米寬x 122厘米深x 92厘米高 | |
系統(tǒng)重量 | 35kg至45kg，具體取決于所選的選項 | ~70公斤 |
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