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當(dāng)今高精電子束設(shè)備對(duì)環(huán)境磁場(chǎng)及其動(dòng)態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場(chǎng)使電子束產(chǎn)生偏移，從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測(cè)量精度的減低。SC22系統(tǒng)是一種三維空間內(nèi)的交流磁場(chǎng)補(bǔ)償系統(tǒng)，通過(guò)傳感器感知空間環(huán)境中交流磁場(chǎng)及其變化量，控制器通過(guò)三維空間線圈來(lái)提供反磁場(chǎng)，抵消環(huán)境磁場(chǎng)給電子束設(shè)備帶來(lái)的影響，恢復(fù)應(yīng)有的分辨率和精度。

SC22特點(diǎn)及技術(shù)參數(shù)如下：

通過(guò)穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境確保您購(gòu)置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能

消除和監(jiān)測(cè)交流磁場(chǎng)

低成本高性能系統(tǒng)

智能用戶(hù)界面

自動(dòng)運(yùn)行，連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng)

交流磁場(chǎng)可消除范圍：0.5 Hz to 5 kHz；市電60 Hz的交流背景磁場(chǎng)可被改善50倍

完整的X， Y， Z三軸消磁系統(tǒng)

可消除場(chǎng)強(qiáng)高達(dá)60 mG (6.0 μT) pk-pk

磁場(chǎng)躍變響應(yīng)速度：100 μs以?xún)?nèi)

高靈敏度傳感器，可精確反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化；支持雙傳感器，用于抵消TEM透射電鏡和高突變環(huán)境磁場(chǎng)

USB監(jiān)控端口