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Q150T PLUS系列全自動(dòng)高真空鍍膜儀

英國QUORUM出品的Q150T Plus是一款優(yōu)化設(shè)計(jì)的帶渦輪分子泵抽真空的鍍膜設(shè)備，真空度可達(dá)5x10-5mbar。可以濺射具有超細(xì)成膜顆粒的易氧化金屬，適用于高分辨率成像。同樣地，低散射可得到均勻而致密的無定形碳膜。

Q150T E和ES PLUS使用碳棒頭作為標(biāo)準(zhǔn)配置；Q150T S和ES PLUS濺射貴金屬和易氧化金屬。

推薦放大倍數(shù)：

? Au、Au/Pd可達(dá)5萬倍

? Pt可達(dá)10萬倍

? Cr、Ir可達(dá)10萬倍以上

非常適合薄膜應(yīng)用，例如鍍ITO、W、Al、Zn等。

推薦應(yīng)用：

? 掃描電鏡高分辨率放大應(yīng)用

? FIB中鍍保護(hù)性鉑層

? 腐蝕、摩擦和磨損保護(hù)層的研發(fā)

? 醫(yī)療設(shè)備上的保護(hù)層

? BSE成像

? EDX， WDS， EBSD分析

? 蒸鍍碳覆型膜

Q150T Plus 功能特點(diǎn)：

1）全新升級的用戶界面：

? 電容式觸摸屏，靈敏度高，更易觸控使用

? 用戶界面軟件全面更新，使用現(xiàn)代智能技術(shù)界面

? 全面的文字幫助頁面

? USB接口可輕松進(jìn)行軟件更新和數(shù)據(jù)備份

? log文件格式為.csv，內(nèi)含日期、時(shí)間和工作參數(shù)，導(dǎo)出后可在Excel或類似軟件中分析

? 16GB的閃存可儲存超過1000條鍍膜方案

? 雙核ARM處理器，可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)的顯示

2）允許多用戶輸入和儲存鍍膜方案，并根據(jù)*近的使用來排列每個(gè)用戶的方案。

3）智能邏輯系統(tǒng)自動(dòng)識別插入頭，并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置和控制。

4）系統(tǒng)提示用戶確認(rèn)靶材，然后自動(dòng)為該材料選擇合適參數(shù)。

5）直觀方便的軟件，即使新手也能快速輸入和存儲其處理參數(shù)，創(chuàng)建自己的鍍膜程序，且系統(tǒng)已存儲典型的濺射和鍍碳程序可供直接調(diào)用。

6）如果軟件檢測到在一段時(shí)間內(nèi)無法達(dá)到設(shè)定真空度，系統(tǒng)會(huì)終止程序，以防真空泵過熱。

7）可互換的插入頭：允許用戶將系統(tǒng)配置為濺射鍍膜儀、蒸鍍儀或輝光放電系統(tǒng) - 所有這些系統(tǒng)都可集成在一個(gè)設(shè)備中，節(jié)省空間?？蛇x碳繩蒸發(fā)?？勺詣?dòng)檢測識別插入頭類型。

8）可拆卸腔室，設(shè)有防爆罩：可拆卸玻璃腔室，易清潔底座和頂板。如需要，用戶可快速更換腔室以避免敏感樣品交叉污染。高腔室選項(xiàng)可用于碳蒸發(fā)，避免樣品過熱；提高濺射的均勻性和承載較高尺寸的樣品。

9）多種樣品臺可選：Q150T Plus具有可滿足大多數(shù)要求的樣品臺。所有樣品臺都是插入式（無螺絲），易于更換。

10）獨(dú)特的“可控斜坡碳棒蒸發(fā)”、“磁控冷濺射”和“脈沖清潔用于濺射Al”等先進(jìn)技術(shù)。

11）安全性符合行業(yè)CE標(biāo)準(zhǔn)。

Q150T Plus具有三種型號：

1）Q150T S Plus全自動(dòng)濺射鍍膜儀，可濺射易氧化金屬及貴金屬。可濺射的靶材包括鉻、銥、鎢、ITO、鋁和其它靶材。

2）Q150T E Plus全自動(dòng)蒸發(fā)鍍碳儀（碳棒/碳繩），適合SEM領(lǐng)域的EDS和WDS應(yīng)用?？蛇x金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭。

3）Q150T ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種方式的一體化高真空鍍膜系統(tǒng)。鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)更換，可選金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭。

Q150T Plus是Quorum Technologies出品的國際認(rèn)可的Q系列鍍膜儀的一部分，全球數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應(yīng)用提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案，Q系列功能多樣、價(jià)格合理且易于使用。

主要操作：

1）離子濺射：濺射電流可設(shè)范圍寬，至預(yù)設(shè)厚度（需選用FTM）終止或定時(shí)終止?？稍O(shè)濺射時(shí)間寬，無需破真空，自動(dòng)內(nèi)置冷卻占空比。

2）蒸鍍：可用碳棒（可選碳繩）蒸鍍碳膜；選用鎢籃或鉬舟進(jìn)行金屬熱蒸發(fā)；選用標(biāo)準(zhǔn)鉬舟清潔TEM光闌

3）可視化狀態(tài)指示

大而多色的LED指示燈，使用戶在一定距離就可輕松識別過程狀態(tài)。指示燈可顯示以下狀態(tài)：

◆ 初始化中 ◆ 程序運(yùn)行

◆ 空閑狀態(tài) ◆ 正在鍍膜

◆ 程序完成 ◆ 故障停機(jī)狀態(tài)

程序完成后音頻聲音提示。

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