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Tergeo EM型SEM及TEM樣品/樣品桿清潔專用等離子清潔儀

PIE Scientific專注研發(fā)先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)室用等離子儀器，用于SEM/TEM樣品清潔、光刻膠蝕刻、等離子體增強(qiáng)沉積、表面處理與活化。我們的宗旨是：將半導(dǎo)體和核工程研究中開(kāi)發(fā)的**等離子技術(shù)集成到經(jīng)濟(jì)實(shí)用的實(shí)驗(yàn)室用等離子儀器。

專為去除SEM & TEM樣品的碳?xì)湮廴径O(shè)計(jì)。特有的雙清洗模式（immersion和downstream）能夠處理各種不同的樣品，從嚴(yán)重污染的電子光學(xué)孔徑光闌到各種脆弱易損樣品，如石墨烯、碳納米管、類金剛石碳膜以及多孔碳支持膜銅網(wǎng)上的TEM樣品。石英樣品托板上的孔洞可以安裝標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品托。特別設(shè)計(jì)的適配器可以清潔不同廠家的TEM樣品桿。

特點(diǎn)：

1. 系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動(dòng)表面處理、光刻膠蝕刻。遠(yuǎn)程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化

2. 13.56MHz高頻射頻發(fā)生器

3. 7英寸觸摸屏控制界面，全自動(dòng)操作

4. 標(biāo)配75W版本，可選150W版本

5. 標(biāo)配2路氣體輸入，可選第三路氣體輸入

6. 可選與FEI、JEOL、HITACHI等TEM樣品桿配套的專用適配器

7. AC輸入：通用(110~230V， 50/60Hz)

除了Tergeo EM型SEM & TEM樣品清潔專用等離子清潔儀，另有Tergeo Basic基本型等離子清潔儀和Tergeo Plus型大腔室等離子清潔儀，歡迎選購(gòu)！