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英國(guó)DEBEN EBIC放大器
Deben旗下KED出品的EBIC，是一款樣品電流和電子束感生電流測(cè)量放大器，可進(jìn)行吸收電流測(cè)量、吸收電流成像和電子束感生電流成像，可用偏壓樣品。
執(zhí)行EBIC成像所需的設(shè)備是掃描電子顯微鏡、EBIC放大器和電真空饋通。
從電子束注入的電子打破半導(dǎo)體均衡狀態(tài)，產(chǎn)生電子/空穴對(duì)，EBIC信號(hào)主要是從嵌入的擴(kuò)散層（晶體管和二極管）產(chǎn)生，通過(guò)放大電子束產(chǎn)生的感生電流或電壓，便可由該效應(yīng)形成SEM監(jiān)視圖像。
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