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精密陶瓷:化解我國半導體“卡脖子”窘境的
中國粉體網(wǎng)訊 半導體產(chǎn)業(yè)是關乎國家經(jīng)濟、政治和國防安全的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè),在半導體產(chǎn)業(yè)中,制造裝備具有極其重要的戰(zhàn)略地位。以光刻機為代表的半導體關鍵裝備是現(xiàn)代技術(shù)高度集成的產(chǎn)物,其設計和制造過程均能體現(xiàn)出包括材料、機械加工等在內(nèi)的諸多相關科學領域的最高水平。例如,對于材料而言,半導體制造關鍵裝備要求零部件材料具有輕質(zhì)高強、高導熱系數(shù)和低熱膨脹系數(shù)等特點,且致密均勻無缺陷。 圖片來源:pexels其中,精密陶瓷就是最具代表性半導體精密部件材料。何為半導體精密部件?半導體零部件是指在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)和精度、可靠性及穩(wěn)定性等性能方面達到了半導體設備及技術(shù)要求的零部件,如 O 型密封圈、傳送模塊、射頻電源、靜電吸盤、硅/..【詳細】
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