中國(guó)粉體網(wǎng)訊 2024年12月24日，由中國(guó)粉體網(wǎng)主辦的“2024半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料技術(shù)大會(huì)”在河南鄭州濱河假日酒店成功召開(kāi)。大會(huì)匯聚了金剛石材料生產(chǎn)企業(yè)、儀器裝備企業(yè)，科研院所的200余名行業(yè)精英，圍繞半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料的應(yīng)用前景、技術(shù)難點(diǎn)、產(chǎn)業(yè)發(fā)展、設(shè)備應(yīng)用等方向，深入探討了當(dāng)前行業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀，共同展望了行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)。
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會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)
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中國(guó)粉體網(wǎng)會(huì)展事業(yè)部總經(jīng)理孔德宇先生主持開(kāi)幕式和本屆大會(huì)
本屆大會(huì)邀請(qǐng)了河南工業(yè)大學(xué)栗正新教授、西安交通大學(xué)王宏興教授、哈爾濱工業(yè)大學(xué)朱嘉琦教授、廣東工業(yè)大學(xué)路家斌教授、西安電子科技大學(xué)張金風(fēng)教授、南京大學(xué)修向前教授等13位在金剛石行業(yè)深耕多年的專(zhuān)家教授、技術(shù)大咖前來(lái)演講交流。
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行業(yè)專(zhuān)家同與會(huì)代表面對(duì)面交流
大會(huì)精彩報(bào)告
在合成人造金剛石方面，HPHT方法成本低，長(zhǎng)晶速度快且技術(shù)成熟，適合大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)，國(guó)內(nèi)應(yīng)用廣泛。栗正新教授在報(bào)告中具體介紹了HPHT法在制備大尺寸單晶、多晶、BDD和鉆-銅導(dǎo)熱材料等方面的研究現(xiàn)狀與趨勢(shì)。
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河南工業(yè)大學(xué)栗正新教授作《HPHT制備功能金剛石材料研究》報(bào)告
金剛石材料在半導(dǎo)體行業(yè)中炙手可熱。王宏興教授在報(bào)告中結(jié)合金剛石摻雜、器件設(shè)計(jì)等方面，清晰展現(xiàn)了金剛石半導(dǎo)體前沿技術(shù)、材料和實(shí)踐有機(jī)結(jié)合的產(chǎn)業(yè)全景。
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西安交通大學(xué)王宏興教授作《金剛石半導(dǎo)體的新進(jìn)展》報(bào)告
高品質(zhì)一直以來(lái)就是MPCVD單晶金剛石生長(zhǎng)領(lǐng)域的熱點(diǎn)問(wèn)題。朱嘉琦教授在報(bào)告中詳細(xì)介紹了金剛石合成方法及原理、MPCVD金剛石合成裝備、高質(zhì)量金剛石晶體材料合成工藝、金剛石半導(dǎo)體器件應(yīng)用等內(nèi)容，為高品質(zhì)單晶金剛石的合成指明了方向。
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哈爾濱工業(yè)大學(xué)朱嘉琦教授作《高品質(zhì)MPCVD金剛石單晶材料、裝備及半導(dǎo)體應(yīng)用》報(bào)告
天元航材（營(yíng)口）科技股份有限公司副總經(jīng)理齊永新重點(diǎn)介紹了六方氮化硼和立方氮化硼的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、性能及應(yīng)用領(lǐng)域。同時(shí)，對(duì)國(guó)內(nèi)外氮化硼生產(chǎn)企業(yè)以及產(chǎn)能分布情況、六方氮化硼性能指標(biāo)對(duì)立方氮化硼制備的影響、氮化硼在第四代半導(dǎo)體中的應(yīng)用研究進(jìn)展進(jìn)行介紹。
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天元航材（營(yíng)口）科技股份有限公司副總經(jīng)理齊永新作《氮化硼材料性能及應(yīng)用》報(bào)告
隨著電子產(chǎn)品向更高集成化、小型化、智能化進(jìn)展，電子元器件面臨功率增加和熱流密度上升的挑戰(zhàn)。金剛石以其超高熱導(dǎo)率，成為熱管理的理想材料。李高金董事長(zhǎng)對(duì)金剛石散熱技術(shù)的原理以及其在電子設(shè)備、航空航天、汽車(chē)行業(yè)和其他工業(yè)領(lǐng)域的具體應(yīng)用進(jìn)行了介紹，并指出技術(shù)進(jìn)步和市場(chǎng)需求將是推動(dòng)金剛石散熱材料發(fā)展的關(guān)鍵因素。
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安徽碳索芯材科技有限公司董事長(zhǎng)李高金作《金剛石在散熱領(lǐng)域內(nèi)的多形態(tài)應(yīng)用》報(bào)告
金剛石、碳化硅等半導(dǎo)體材料硬度大，加工困難，激光隱形切片技術(shù)順勢(shì)而生。修向前教授在報(bào)告中詳細(xì)介紹了6-8英寸導(dǎo)電型/4-6英寸半絕緣型碳化硅晶錠的激光切片技術(shù)研究進(jìn)展，并對(duì)金剛石和氮化鎵單晶的激光隱形切片技術(shù)規(guī)模化應(yīng)用進(jìn)行了展望。
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南京大學(xué)修向前教授作《大尺寸半導(dǎo)體單晶激光切片設(shè)備與技術(shù)研究》報(bào)告
針對(duì)單晶金剛石拋光，路家斌教授提出了激光誘導(dǎo)石墨化輔助CMP拋光方法，通過(guò)激光燒蝕熱效應(yīng)、紫外光催化協(xié)同芬頓反應(yīng)，揭示了單晶金剛石CMP加工的材料去除機(jī)理，以?xún)?yōu)化CMP加工參數(shù)，實(shí)現(xiàn)單晶金剛石高效率、高質(zhì)量拋光。
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廣東工業(yè)大學(xué)路家斌教授作《單晶金剛石激光輔助CMP加工研究進(jìn)展》報(bào)告
近年來(lái)，我國(guó)在金剛石輻射探測(cè)器的電荷收集性能上取得突破性進(jìn)展，在器件和材料研究方面正在迅速提升。張金風(fēng)教授在報(bào)告中詳細(xì)介紹了金剛石輻射探測(cè)領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)外研究進(jìn)展，及西安電子科技大學(xué)在金剛石輻射探測(cè)器和材料領(lǐng)域取得的重要進(jìn)展。
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西安電子科技大學(xué)張金風(fēng)教授作《金剛石輻射探測(cè)器級(jí)材料制備和器件性能研究》報(bào)告
魏秋平教授在報(bào)告中指出了摻硼金剛石（BDD）電極材料大面積制備的技術(shù)瓶頸與解決方案。同時(shí)，對(duì)BDD電極電化學(xué)氧化降解高危廢水的應(yīng)用現(xiàn)狀，以及應(yīng)用于高危廢水處理的電化學(xué)資源再生與回收系統(tǒng)進(jìn)行了介紹。
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中南大學(xué)魏秋平教授（線(xiàn)上）作《硼摻雜金剛石電極的調(diào)控與電化學(xué)工程應(yīng)用》報(bào)告
當(dāng)前，半導(dǎo)體設(shè)計(jì)和制造的創(chuàng)新正在推動(dòng)新的顛覆性技術(shù)：5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、電動(dòng)汽車(chē)、先進(jìn)的國(guó)防和安全能力。Element Six亞洲戰(zhàn)略業(yè)務(wù)總監(jiān)秦景霞在報(bào)告中介紹了如何利用CVD、HPHT金剛石的卓越特性（硬度、導(dǎo)熱、光電、量子等）在半導(dǎo)體行業(yè)中實(shí)現(xiàn)其綜合應(yīng)用，涵蓋了芯片設(shè)計(jì)、制造（前端襯底加工、后端裝配、封裝、測(cè)試）以及電子設(shè)備成品制備。
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Element Six（元素六）亞洲戰(zhàn)略業(yè)務(wù)總監(jiān)秦景霞作《金剛石在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用》報(bào)告
針對(duì)難加工碳基材料（如金剛石、類(lèi)金剛石等）的高硬度、強(qiáng)化學(xué)惰性等特點(diǎn)，戴媛靜教授在報(bào)告中對(duì)國(guó)內(nèi)外行業(yè)發(fā)展水平和科研情況進(jìn)行了調(diào)研，并采用模擬計(jì)算、實(shí)驗(yàn)研究等手段，對(duì)SiC/DLC、單晶金剛石的原子級(jí)去除機(jī)理和工藝路徑進(jìn)行了探討，為金剛石襯底材料的高效制造提供可能的技術(shù)支撐。
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清華大學(xué)天津高端裝備研究院常務(wù)副所長(zhǎng)戴媛靜教授作《難加工碳基材料的原子級(jí)去處機(jī)理與工藝路徑探討》報(bào)告
在新材料及器件的設(shè)計(jì)中，多尺度仿真技術(shù)能夠?qū)?fù)雜結(jié)構(gòu)予以簡(jiǎn)化。圍繞材料、器件創(chuàng)新與性能優(yōu)化等問(wèn)題，周俊杰教授基于多尺度仿真方法對(duì)其建模分析，進(jìn)行性能優(yōu)化，尤其是硅基半導(dǎo)體材料的性能，并對(duì)多尺度仿真技術(shù)在半導(dǎo)體材料的應(yīng)用進(jìn)行了展望。
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鄭州大學(xué)周俊杰教授（周倩茹代）作《半導(dǎo)體材料多尺度仿真及性能優(yōu)化》報(bào)告
SPS，即放電等離子燒結(jié)技術(shù)，是一種高效、快速、綠色的燒結(jié)技術(shù)，被廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、納米材料、復(fù)合材料、功能材料和非晶塊材料等不同領(lǐng)域材料的制備。邊華英在報(bào)告中簡(jiǎn)單綜述了SPS法金剛石鍍覆研究進(jìn)展，為金剛石工具的廣泛應(yīng)用提供了解決方案。
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河南建筑材料研究設(shè)計(jì)院教授級(jí)高工邊華英作《SPS法金剛石鍍覆研究進(jìn)展》報(bào)告
展覽現(xiàn)場(chǎng)精彩瞬間
大會(huì)期間，金剛石產(chǎn)業(yè)相關(guān)的多家企業(yè)現(xiàn)場(chǎng)展示了他們的產(chǎn)品，與會(huì)代表參觀(guān)了企業(yè)展臺(tái)，并與企業(yè)界精英、專(zhuān)家進(jìn)行了面對(duì)面地深入交流。
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與會(huì)代表參觀(guān)企業(yè)展臺(tái)
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與會(huì)代表面對(duì)面交流
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部分參展產(chǎn)品
金剛石作為超寬帶隙半導(dǎo)體材料的一員（禁帶寬度5.5eV），具有聲、光、熱、力、電以及量子等眾多優(yōu)異特性，是研制大功率、高溫、高頻等高性能半導(dǎo)體器件的理想材料，被行業(yè)譽(yù)為“終極半導(dǎo)體材料”。“2024半導(dǎo)體行業(yè)用金剛石材料技術(shù)大會(huì)”的成功舉辦滿(mǎn)足了產(chǎn)業(yè)上下游技術(shù)交流、信息互通的實(shí)際需求，對(duì)推動(dòng)我國(guó)金剛石產(chǎn)業(yè)技術(shù)邁向新臺(tái)階、實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化發(fā)展具有積極的意義。
（中國(guó)粉體網(wǎng)鄭州報(bào)道/輕言）
