中國粉體網(wǎng)訊 成本高,一直是碳化硅器件被吐槽的詬病。因為碳化硅在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中存在單晶生產(chǎn)周期長、環(huán)境要求高、良率低等問題,碳化硅襯底生產(chǎn)中的長晶環(huán)節(jié)需要在高溫、真空環(huán)境中進行,對溫場穩(wěn)定性要求高,并且其生長速度比硅材料有數(shù)量級[更多]
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