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Scanning Microwave Impedance Microscopy,簡(jiǎn)稱(chēng)為sMIM,掃描微波阻抗顯微鏡,讓您的AFM成為專(zhuān)業(yè)的電學(xué)顯微鏡!
50nm超高分辨率,~100nm內(nèi)部電學(xué)探測(cè),導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體的廣泛適用度,為您提供電導(dǎo)率、介電常數(shù)、摻雜濃度納米級(jí)高靈敏度電學(xué)表征成像的解決方案。
Scan Wave™ 可應(yīng)用于多種領(lǐng)域材料的研究和發(fā)展:微電子材料,鐵電材料,工業(yè)材料,以及石墨烯、碳納米管,2D半導(dǎo)體、納米材料等新星材料等。
獨(dú)立掃描模塊,包括微波信號(hào)發(fā)生器、探針干涉模塊、自主**同軸屏蔽探針、以及微波近場(chǎng)軟件,可應(yīng)用于各種AFM平臺(tái)。
特殊MEMS結(jié)構(gòu)探針,有效避免散雜磁場(chǎng)的干擾
·專(zhuān)業(yè)多功能自由切換電學(xué)顯微鏡測(cè)試功能體驗(yàn)
sMIM-C成像:介電常數(shù)、電容變化;
sMIM-R成像:電導(dǎo)率、電阻率變化;
dC/dV 振幅:載流子濃度;
dC/dV 相位:載流子類(lèi)型+/- ;
dR/dV 振幅:相關(guān)損失系數(shù);
dR/dV 相位:相關(guān)損失系數(shù)
·高精度電學(xué)測(cè)試,50nm分辨率;
·工業(yè)級(jí)高靈敏度、低噪音,“Hard stuff”材料電學(xué)測(cè)試不再是難題;
·可實(shí)現(xiàn)表面下成像、檢測(cè)(>100nm)
·不同材料同步測(cè)量:導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體、電介質(zhì)都可以實(shí)現(xiàn),不同的材料甚至分類(lèi)都可以 在一次掃描中觀測(cè)。
·簡(jiǎn)易操作:不需要樣品特別處理,不需要將樣品放置在導(dǎo)電或電流中,人性化軟件設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單。
·接觸和非接觸模式多種掃描模式:即使在做力曲線,只要你想實(shí)現(xiàn),就可以獲得電學(xué)數(shù)據(jù);
暫無(wú)數(shù)據(jù)!