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HOLITH界面光刻技術(shù)----“納米壓印友好伴侶”
HOLITH界面光刻裝置使用兩束干涉激光在光界面上形成周
期性光柵和點/孔圖案。 HOLITH納米成像系統(tǒng)具有新型力
學(xué)，光學(xué)和電學(xué)設(shè)計，可在200nm-2μm的周期性范圍內(nèi)于4
英寸晶片上做出納米結(jié)構(gòu)圖案，圖案*小形貌可低50nm。
***的HOLITH**技術(shù)可使用戶僅通過簡單的鼠標(biāo)點擊操
作便能作出100nm以下尺寸的高品質(zhì)高均一性線性光柵和
2D/3D圖像。在HOLITH界面光刻裝置中無需使用遮罩和模
具。
優(yōu)勢：
· 無遮罩過程：低成本、多功能、可伸縮
· 計算機系程序自動化光學(xué)結(jié)構(gòu)和排列控制
· 簡單操作，無需光學(xué)培訓(xùn)
· 相比遮罩定位器系統(tǒng)成本更低
· 200nm范圍內(nèi)具有高分辨率
· *低特征尺寸小于50nm
· 無需遮罩及模具
· 可以制作大面積2D/3D納米壓印模具（4/6英寸）
· 可以操作不平整晶片
· 周期精度：<+-2.5%
· All-fiber-optic setup replacing free-
space optical components
· Special optical fiber delivers light from
laser
· Fiber-optic beam splitter splits the
laser beam into two coherent beams
· Output port of the fiber performs
spatial filtering
· Close-loop feedback control stabilizing
interference pattern
低成本、不受環(huán)境因素干擾，使自動化成為可能：自由改變?nèi)肷浣嵌日{(diào)整模式周期。
Holith 納米圖案化結(jié)構(gòu)
應(yīng)用：
能源
· 太陽能電池抗反射結(jié)構(gòu)
· 太陽能電池光子操縱
· LEDs燈管中的光提取
· 圖案化藍寶石基板(PSS)
光學(xué)器件
· 1-D和2-D光柵光譜
· 大范圍等離子體結(jié)構(gòu)
· 光子晶體
· 超穎表面
· 高對比度光柵過濾器和反射器
· 亞波長和衍射光學(xué)器件
·計量光柵
·結(jié)構(gòu)化的顏色
材 料
· 超疏水/親水表面
· 誘導(dǎo)自組裝
· 表面增強拉曼熒光
· 生物醫(yī)學(xué)傳感器
納米裝配
·納米壓印磨具裝配
·先進納米裝配過程開發(fā)
暫無數(shù)據(jù)！
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