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主要特征：
? **高通量聚焦離子束（FIB）加工系統(tǒng)
? 緊湊式設(shè)計以便靈活布局-安裝空間減少20%
? 低加速電壓時出色的性能
? 快速尋找觀察位置的平臺系統(tǒng)
主要規(guī)格：
離子源：Ga（鎵）液態(tài)金屬離子源
圖像分辨率：5nm
束電流：**至60 nA
加速電壓：1～30Kv
放大倍率：×60 （用于視場搜索）×200～×300，000
圖片獲取：平臺搜索（可選）
樣品臺1（標(biāo)準(zhǔn)）：5軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺
樣品臺2（可選）：側(cè)插式測角樣品臺
沉積物：**個GIS裝置
碳、鎢、鉑
裝置：主要部件+操作臺
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