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產(chǎn)品描述

NVM-6000P是專用型設(shè)備，用于基板表面形貌的測量。

基板上的Via Hole，Pad形狀，pattem形貌和表面形貌等11個(gè)項(xiàng)目可以進(jìn)行自動測量。

在高速測量下仍具有優(yōu)秀的重復(fù)性和準(zhǔn)確性，支持用戶設(shè)定測量條件和測量數(shù)據(jù)自動保存及分析功能。

產(chǎn)品規(guī)格

掃描范圍：0-180um（270um可選）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm

臺階高度重復(fù)性:﹤0.5%(1σ)

橫向分辨率：0.2-4um（取決于物鏡和FOV）

工作臺面：510X405mm（程控）

尺寸：1200(w)X1250(D)X1900(H)

應(yīng)用領(lǐng)域

Nano View系列為LCD（液晶顯示器）、IC Package（芯片封裝）、Substrate（基板）、Build-up PCB（積層板）、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)），Engineering Surfaces（工程表面）等等領(lǐng)域提供納米級別精度的量測。