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強(qiáng)大的通用性與**分辨率的**結(jié)合

JSM-7500F場發(fā)射掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)將場發(fā)射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡組合為一體，場發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠?qū)㈦娮邮劢沟煤芗?xì)，與通用型掃描電鏡一樣，對大樣品也可以進(jìn)行高分辨率的觀察。

GB模式（即柔和光束）能以極低能量的入射電子束觀察樣品的淺表面

通過給樣品加以偏壓并照射電子束，能夠利用分辨率高于一般模式的GB模式，與能獲得高分辨率的電子光學(xué)系統(tǒng)配合使用，JSM-7500F可用能量為數(shù)百電子伏的入射電子束對樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察，這是迄今為止所未能實(shí)現(xiàn)的。

新型r-過濾器對二次電子和背散射電子的選擇性檢測

新型 r-過濾器有標(biāo)準(zhǔn)SB（二次電子檢測）模式、標(biāo)準(zhǔn)BE模式（背散射電子檢測）、Sb模式（二次電子優(yōu)先）和Bs模式（背散射電子優(yōu)先）四種模式。Sb模式能檢測以任意比例和背散射電子混合的二次電子，Bs模式能檢測以任意比例和二次電子混合的背散射電子，這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。