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            瑞士Sawatec勻膠機SM-150
            瑞士Sawatec勻膠機SM-150

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            瑞士

            樣本

            暫無
            深圳市藍星宇電子科技有限公司

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            第2年

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            瑞士Sawatec 勻膠機SM-150:手動涂膠的**選擇

            勻膠機 SM-150 是手動或半自動薄膜涂覆的**選擇,適用于表面沒有或有非常矮形貌的基板涂膠作業(yè)。所有市面上的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸**為 150mm (6”) 127x127mm (5”x5”)的基板上。工藝腔設計可滿足**直徑為 176mm。

            SM系列的優(yōu)點在于,具有令人信服的高度涂膜均勻性和工藝重復性,并且操作簡單、使用舒適。為了使花費在工藝腔清潔上的精力*小化,SAWATEC 公司開發(fā)了一種極其實用且經(jīng)濟的工藝腔保護碗。工藝結束后,可以簡單地移除和清理這種保護 碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設計,也可以將維護成本*小化。因此,SAWATEC勻膠機可被優(yōu)先應用于實驗室,研發(fā),試產(chǎn)項目以及研究所。

            功能(基本配置)

            ??删幊蹋?多 50 個程序(各包含 24 個程序段)

            。適用于重復工藝的快速啟動功能

            。觸摸屏面板控制,方便用戶程序配置工藝參數(shù):轉速、加速度、工藝時間旋轉方向可選 (順時針、逆時針)

            。手動裝卸基板

            。通過具有安全保護的真空系統(tǒng)進行基板固定

            。手動蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護工藝結束時的聲音信號

            性能數(shù)據(jù)

            。速范圍:0 到 10,000rpm +/-1rpm

            。轉速加速度:0–8,000rpm 為0.8秒/0–10,000rpm為1秒 1)

            。減速度:10,000rpm-0 為2.5秒/8,000rpm-0 為0.8秒 1)

            。工藝時間*長為 2376 s

            。每個程序段的給膠時間為 99 s

            附加功能(可選項)

            。半自動的管式給膠系統(tǒng),帶有手動給膠手臂和回吸功能的

            。工藝腔的手動氮氣凈化裝置

            。用于簡化操作的“啟動/停止”腳踏開關(電纜長度 1.8m)

            。經(jīng)陽極電鍍處理的鋁制工藝腔

            。鋁制或 PE(聚乙烯)材料制成的工藝腔保護碗用于 SM-150 勻膠機的真空泵

            。晶圓定位器 2”–6”(圓形)

            旋轉卡盤分類

            為了達成**涂覆效果,我們提供了不同尺寸、材料和設計的旋轉卡盤。根據(jù)用途的不同,可使用單塊結構或具有光學輔助置中功能的兩部分構成的旋轉卡盤。為避免基板背面被弄臟,有時不僅要選擇**的旋轉卡盤尺寸,還要采用專門的卡盤設計。旋轉卡盤的更換過程非常簡單,不需要使用工具。

            。真空卡盤小片

            。真空卡盤 1” 3”(圓形)

            。真空卡盤 100mm(4”) 150mm(6”)

            。真空卡盤 100x100mm(4”x4”) 真空卡盤 125x125mm(5”x5”) 其他卡盤需咨詢

            設計和尺寸

            。桌上式版本 SM -150-BT,

            。內(nèi)嵌式版本 SM-150-BM

            。緊湊且節(jié)省空間的結構形式

            。POM(聚甲醛樹脂)材料制成的工藝碗,確保了高材料兼容性

            。POM(聚甲醛樹脂)材料制成的集成式防濺環(huán),確保無光刻膠濺出。透明蓋板:玻璃制成

            。具有 3.5” 彩色顯示屏的觸摸屏面板

            。高精度,高動態(tài)的交流伺服電機

            。經(jīng)電解拋光處理的不銹鋼外殼

            。外殼(BT): 350 x 510 x 403mm (長*寬*高)

            。重量(BT): 約 29kg

            。安裝模塊(BM): 300 x 300 x 368mm (長 x 寬 x

            。安裝面板 320 x 166 x 50mm ( 長 x 寬 x

            。重量(BM): 約 20kg

            接口

            。230 VAC 50/60Hz 10A

            。腳踏開關用插頭接口

            。技術真空,軟管 ?6/4mm(-0.8bar)

            。壓縮空氣或氮氣軟管?6/4mm(3bar) (僅限于和給膠系統(tǒng)配合使用)

            。排放接口 ?12mm

            。BT 廢氣接口 ?38mm(20–50m3/h) BM 廢氣接口 ?25mm(20–50m3/h)

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            產(chǎn)品質(zhì)量

            10分

            售后服務

            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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            瑞士Sawatec勻膠機SM-150信息由深圳市藍星宇電子科技有限公司為您提供,如您想了解更多關于瑞士Sawatec勻膠機SM-150報價、型號、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。
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