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主要技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：6 英寸

。曝光波長：365nm： 20mW/cm，405nm：20-35mW/cm2

。分辨力：1μm

。對準(zhǔn)精度：± 2μm （雙面，片厚 0.8mm），± 0.8μm （單面）

。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸

。樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸，厚度 0.1mm—6mm

。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量

。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙

。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口7

。正面對準(zhǔn)采用雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)**倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍

。底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm

。照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）， 3%（Ф150mm 范圍）

。掩模相對于樣片運動行程：

X：± 5mm; Y：± 5mm;Thelta：± 6 度

。**膠厚：500 μm （SU8 膠，用戶提供檢測條件）

。光源平行性：2°

。具有循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

。汞燈功率：1000W（直流，進口）

外形尺寸：1400mm（長）x1200mm(寬) x2000mm（高）

設(shè)備構(gòu)成與配置明細

設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)（曝光頭）、對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)、雙目雙視場顯微鏡系統(tǒng)、底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè)備構(gòu)成。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括：

。冷光橢球鏡

。1000 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇.

。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 余個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

（2）對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括：

。掩模樣片相對運動臺（XY）

。轉(zhuǎn)動臺（θ）

。樣片自動調(diào)平機構(gòu)

。樣片調(diào)焦機構(gòu)

。承片臺 4 個 （2 英寸、3 英寸、4 英寸，6 英寸）8

。掩模架 4 個 （3 英寸、4 英寸、5 英寸，7 英寸）

。掩模翻轉(zhuǎn)及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)

（3）對準(zhǔn)顯微鏡（可選擇帶 CCD 型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）系統(tǒng)包括：

。LED 照明及配套電源

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）

。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)

。XYZ 底面對準(zhǔn)工件臺（兩套）

（4）底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)

。LED 照明及配套電源

。CCD 及光學(xué)成像系統(tǒng)(2 套)

。數(shù)據(jù)采集卡

（5）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)

。單片機控制系統(tǒng)

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。計算機系統(tǒng)（22 英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動

。氣動儀表

（7）其他附件（選配）

。真空泵一臺（無油靜音型）

?？諌簷C一臺（無油靜音型）

。恒溫循環(huán)水冷卻系統(tǒng)

。管道