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            URE-2000/17型紫外單面光刻機(臺式)
            URE-2000/17型紫外單面光刻機(臺式)

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            四川

            樣本

            暫無
            深圳市藍星宇電子科技有限公司

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            URE-2000/17 型紫外單面光刻機(臺式)

            技術參數(shù)

            。曝光面積:4 英寸

            。曝光波長:365nm

            。分辨力:1.5μm(膠厚 2 ?m 的正膠)

            。對準精度:±1μm

            。掩模樣片整體運動范圍:X:15mm;Y:15mm

            。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

            。樣片尺寸:直徑 Ф 15mm-- Ф 100mm,厚度 0.1mm--6mm(可擴展為 15mm)

            。曝光方式:定時和定劑量

            。照明不均勻性: 5%(Ф 100mm 范圍)

            。雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過 CCD+顯示器對準,光學合像,光學倍數(shù) 400 倍,光學+電子放大 800 倍

            物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

            目鏡三對:10 倍、16 倍、20 倍

            。掩模相對于樣片運動行程:

            X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

            。汞燈功率:200W(直流)

            。曝光能量密度:6mW/cm

            2.外形尺寸:650mm(長)x600mm(寬) x900mm(高)36

            3.配置

            (1)曝光頭

            。200W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

            。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

            。光學系統(tǒng)

            。冷卻風扇

            (2)對準工件臺

            。掩模樣片整體運動臺

            。掩模樣片相對運動臺

            。轉動臺

            。樣片調(diào)平機構,手動

            。樣片調(diào)焦機構,手動

            。承片臺 3 個(Ф 50mm 、?75mm 、 ?100mm )

            。掩模夾 4 個(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)

            。掩模抽拉式上下機構

            (3)對準顯微鏡

            。光源(配備品 2 只)、電源

            。雙目雙視場對準顯微鏡主體

            。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)

            。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)

            。CCD(臺灣)

            。21 寸液晶顯示器

            (4)電控系統(tǒng)

            。汞燈觸發(fā)電源(200W 直流汞燈)

            。單片機控制系統(tǒng)

            ??刂茩C箱

            (5)氣動系統(tǒng)

            。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

            。電磁閥驅(qū)動

            。氣動儀表

            (6)其他附件

            。真空泵一臺

            。管道

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            10分

            易用性

            10分

            性價比

            10分
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