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德國 PVA TePla 等離子去膠機

型號：IoN 100WB-40Q等離子去膠機

IoN 100WB-40Q是我們**推出的具有高性價比的真空等離子去膠設備。它來源于IoN 100-40Q，IoN 100WB-40Q延續(xù)了同樣的高品質保障，包括可選壓力控制器、光譜終點檢測器等豐富配置選擇。

IoN 100WB-40Q配備了一個圓筒石英腔，特別適用于半導體、LED、MEMS等領域的光刻膠灰化、打殘膠、氮化物刻蝕、表面清潔等應用的批次處理。

IoN 100 WB旨在滿足客戶的生產(chǎn)需求，著重于表面處理的多功能性和可控性。其先進的性能提供了出色的工藝控制、失效報警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件。這使得該設備可滿足半導體、LED、MEMS等領域嚴格的程序控制要求。IoN 100 WB結構緊湊，集成度高，采用射頻（RF）頻率激發(fā)等離子體。

先進的功能特性：

● 低微粒石英腔體

● 觸摸屏操作，圖形用戶界面（GUI）

● 使用Windows系統(tǒng)的工業(yè)計算機控制

● 工藝員、操作元、維護員訪問權限控制

● 自診斷功能和警報記錄功能，聯(lián)網(wǎng)在線診斷功能

● 以太網(wǎng)遠程控制功能

● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

● 可隔墻安裝

● 可選配光譜終點檢測功能

規(guī)格參數(shù)

工作腔室材料 石英

腔門材質 鋁（標配）

腔體尺寸 直徑304 mm，深508mm

**可處理晶圓尺寸 8”

**處理量 50片6”

裝料方式 手動

工藝氣體質量流量控制計 *多至6路氣體

工藝壓力 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)

抽真空時間 大約1分鐘 (取決于真空泵)

射頻電源 風冷13.56MHz，600 瓦(標準配置)

供給需求電源　　　　　 220V 單相， 50Hz

工藝氣體 輸入壓力 1-2 bar

吹掃氣體 輸入壓力 1-2 bar

壓縮空氣 輸入壓力 4-6 bar

機體

● 獨立的機體帶有所有電源和氣體接口

● 帶有旋轉墊腳的可轉動機身

設備尺寸

標準尺寸 1067 x 737 x 1524 mm（寬/高/深，不含泵）

重量 約204千克（不含泵）

可選項

● 壓力控制器

● 1%精度的真空規(guī)

● 石英腔門

● 指示燈柱

● 條形碼閱讀器

● 工藝氣體切換器

● 光譜終點檢測器

● 耐腐蝕性氣體的MFC

● 1000 瓦13.56 MHz射頻發(fā)生器

● 真空泵（油泵或干泵）