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德國(guó)Neaspec太赫茲近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡 THz-NeaSNOM-30nm

光學(xué)信號(hào)空間分辨率

太赫茲波段的納米分辨散射式近場(chǎng)光學(xué)顯微-譜儀系統(tǒng)：

neaspec公司推出的第三代散射式近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡neaSNOM，采用**的高階解調(diào)背景壓縮技術(shù)，有效 提取散射近場(chǎng)信號(hào)，在獲得10nm空間分辨率的同時(shí)保持極高的信噪比，是目前世界上**成熟的s-SNOM產(chǎn) 品。同時(shí)其贗外差干涉式探測(cè)技術(shù)，能夠獲得對(duì)近場(chǎng)信號(hào)強(qiáng)度和相位的同步成像。

由于**的全反射式光學(xué)聚焦和****的雙光路設(shè)計(jì)，neaSNOM是目前世界上**一款可以應(yīng)用于太 赫茲波段的近場(chǎng)光學(xué)顯微成像和譜儀系統(tǒng)。全新推出的THz-neaSNOM必將成為廣大太赫茲科研工作者手中的 神兵利器。

對(duì)有機(jī)和無(wú)機(jī)材料同樣適用

。封閉式外罩設(shè)計(jì)，減少氣流干擾。

。預(yù)先校準(zhǔn)的近場(chǎng)光路，近一步提高穩(wěn)定性

?？焖俪上瘢⒁?0nm空間分辨率鑒別納米材料

。同步探測(cè)近場(chǎng)光學(xué)信號(hào)強(qiáng)度、相位并成像

。可對(duì)單層石墨烯，蛋白質(zhì)有效測(cè)量的高敏感度

。簡(jiǎn)單明了的光路說(shuō)明和光源選擇指示，培訓(xùn)、操作簡(jiǎn)便

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

太赫茲（THz）光源波長(zhǎng)較大，一般在300微米左右。由于衍射極限的存在，THz遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)的光學(xué)空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度經(jīng)常無(wú)法滿足對(duì)材料科學(xué)研究，尤其是需要納米分辨率的微細(xì)尺度材料分布研究（例如半導(dǎo)體芯片中各個(gè)組成：源極，漏極，柵極）的實(shí)驗(yàn)。THz-NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個(gè)很好的解決方案。

德國(guó)Neaspec公司與Fraunhofer IPM在Neaspec公司NeaSNOM近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上，已經(jīng)成功研發(fā)了一套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達(dá)到30nm的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

THz-NeaSNOM主要技術(shù)參數(shù)與特點(diǎn)：

。優(yōu)于30nm的空間分辨率

。常用THz光范圍：0.1-3THz

。**設(shè)計(jì)的寬波段拋面鏡

。THz研究可使用商業(yè)

散射型近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡原理視頻介紹：

HNeaSNOM 30nm空間分辨率

**的背景信號(hào)壓制技術(shù)：

s-SNOM技術(shù)相對(duì)于傳統(tǒng)SNOM更難實(shí)現(xiàn)的主要瓶頸在于，探測(cè)器通過(guò)自由光路接收散射信號(hào)時(shí)，其接收到 的光學(xué)信號(hào)中99%以上是懸臂、樣品等區(qū)域散射的背景信號(hào)，只有不到1%是來(lái)自于針尖與樣品之間的有效近 場(chǎng)信號(hào)。只有成功的將有效的近場(chǎng)信號(hào)提取出來(lái)，才能獲得可靠穩(wěn)定的近場(chǎng)光學(xué)測(cè)量結(jié)果。

neaSNOM通過(guò)其**的高階信號(hào)解調(diào)技術(shù)結(jié)合干涉式探測(cè)方式，實(shí)現(xiàn)了對(duì)背景信號(hào)的有效壓制，獲得了對(duì) 散射近場(chǎng)信號(hào)高度可重復(fù)性、高信噪比的可靠測(cè)量。

在原理上，利用AFM探針的高頻振動(dòng)，遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)信息在快速傅里葉變換后僅可獲得一階信號(hào)；相對(duì)地，近場(chǎng)光學(xué)信息可以獲得一至四階不同的信號(hào)。通過(guò)探測(cè)器對(duì)高階信號(hào)的采集處理，從而實(shí)現(xiàn)從背景信號(hào)中對(duì)有效 近場(chǎng)信號(hào)的剝離。

neaSNOM擁有**的heterodyne探測(cè)模塊，可以利用參考鏡進(jìn)一步對(duì)剝離的近場(chǎng)信號(hào)進(jìn)行調(diào)制，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)其強(qiáng)度和相位的同時(shí)采集和成像。

更廣的波長(zhǎng)范圍和更高的分辨率

neaSNOM對(duì)晶體管的近場(chǎng)成像

與傳統(tǒng)SNOM技術(shù)受到分辨率極限的限制，而只能使用可見(jiàn)光或近紅外光源不同，neaSNOM將可用光源拓展到中紅外和太赫茲波段，并始終保持納米級(jí)分辨率，這決定于neaSNOM的分辨率只與散射源尺寸( AFM 針尖曲率半徑）有關(guān)這一獨(dú)特技術(shù)特點(diǎn)。上圖為，neaSNOM采用波長(zhǎng)為10um的中紅外光源和118um的太赫 茲光源獲得的近場(chǎng)成像結(jié)果，其太赫茲成像的分辨率達(dá)到40nm，約為激發(fā)波長(zhǎng)的1/3000，充分證明了 neaSNOM的高分辨能力。

在中紅外和太赫茲波段的納米成像能力，使得neaSNOM具有對(duì)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行電學(xué)，分子、晶格振動(dòng)等性質(zhì) 的探測(cè)能力，近一步拓展了近場(chǎng)光學(xué)技術(shù)的應(yīng)用范圍，為更多學(xué)科提供了有利的表征手段。

更大的應(yīng)用拓展空間

得益于優(yōu)秀的雙光路設(shè)計(jì)，neaSNOM在成像功能基礎(chǔ)上具有了更大的應(yīng)用拓展空間。利用預(yù)留的第二套可 用光路，neaSNOM可以實(shí)現(xiàn)對(duì)拉曼、熒光、光誘導(dǎo)和超快等領(lǐng)域的研究，部分研究成果已經(jīng)發(fā)表在國(guó)際著 名期刊。

專業(yè)的模塊化設(shè)計(jì)

neaSNOM散射型近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡采用模塊化設(shè)計(jì)，將可見(jiàn)光、近紅外、中紅外照明探測(cè)單元，nano-FTIR ，

透射模式等功能進(jìn)行封閉模塊化設(shè)計(jì)，進(jìn)一步提高了整體光路的穩(wěn)定性，以及操作的簡(jiǎn)便性，便于使用者更 快掌握neaSNOM系統(tǒng)操作，獲得高質(zhì)量近場(chǎng)光學(xué)測(cè)結(jié)果。

用戶友好的軟件平臺(tái)

neaSNOM散射型近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的軟件平臺(tái)歷經(jīng)數(shù)發(fā)整合，已完全兼容于windows系統(tǒng)并有著優(yōu)秀的客戶體驗(yàn)。**的軟件系統(tǒng)用戶友好，操作簡(jiǎn)單，為防止使用人員的誤操作，模塊化的設(shè)計(jì)體系保證了儀器更 高的安全性。