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            2. 

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            URE-2000/A8紫外單面光刻機
            
		
            
		
		
            
			
            
			
            
				
            
					
            URE-2000/A8紫外單面光刻機
            
					
            						
            
													
            
					
            
				
            
				
            					
            
						
            
							
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            *電子郵箱
            
									
								
            
								
            
									
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            虛擬號將在 180 秒后失效
            
							
            
							
            
								
            
								
            使用微信掃碼撥號
            
							
            
						
            
						
            
							為了保證隱私安全，平臺已啟用虛擬電話，請放心撥打(暫不支持短信)
						
            
					
            
					
            
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            是否已溝通完成
            
						
            您還可以選擇留下聯(lián)系電話，等待商家與您聯(lián)系
            
                        
            


						
            
							
            
								
            需求描述
            
								
							
            
							
            
								
            單位名稱
            
								
							
            
							
            
								
            聯(lián)系人
            
								
							
            
							
            
								
            聯(lián)系電話
            
								
							
            
                            
            
								
            Email
            
								
							
            
						
            
						
            
							
            已與商家取得聯(lián)系
            
							同意發(fā)送給商家
						
            
                        
            
					
            
				
            
				
				
				
            
					
            
						
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            URE-2000/A8 紫外單面光刻機
            1、設(shè)備主要技術(shù)指標：
            (1) 曝光面積： 200mm×200mm；
            （2）分辨力：≤  2μm；
            （3）對準精度：±2μm；
            （4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；
            （5）樣片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；
            （6）wafer chuck 表面：防止光反射涂層；
            （7）掩模樣片整體運動范圍：X：10mm;Y:10mm；
            （8）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°；
            （9）汞燈功率：1000W（直流）；
            （10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；
            （11）曝光峰值波長:365nm；
            （12）曝光方式：定時（計時方式 0.1s—999.9s）；
            （13）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
            （14）數(shù)字設(shè)定對準間隙和曝光間隙
            （15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
            2．技術(shù)主要組成部分
            （1）曝光頭系統(tǒng)包括:
            。 冷光橢球鏡；
            。德國 OSRAM1000W 直流高壓汞燈；
            。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺；
            。 光學(xué)系統(tǒng)（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡）；
            。 冷卻風扇。
            （2）對準工件臺系統(tǒng)包括:
            。掩模樣片相對運動臺；
            。（XY），轉(zhuǎn)動臺；
            。 樣片調(diào)平機構(gòu)；
            。 樣片調(diào)焦機構(gòu)；
            。 承片臺 3 個： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；
            。 掩模夾 3 個：5 英寸、7 英寸、9 英寸。
            （3）CCD 對準顯微鏡系統(tǒng)包括:
            。4 倍顯微鏡 2 只；
            。照明光源 2 套；
            。 CCD 相機 2 只；
            。22 英寸液晶顯示器。
            （5）電控系統(tǒng)：
            。 汞燈觸發(fā)電源(1000W)；
            。 單片機控制系統(tǒng)；
            。 控制柜桌。
            （6）氣動系統(tǒng)系統(tǒng)包括:
            。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)，電磁閥驅(qū)動，氣動儀表等
            （7）其他配置與附件
            。真空泵一臺；
            。空壓機一臺；
            。 配套氣管 10m；
            					
            
					
					
            
						
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