中國粉體網(wǎng)訊 近日,信產(chǎn)集團所屬普照材料承擔(dān)的湖南省高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新引領(lǐng)計劃“高精度石英掩膜基版樣品試制項目”順利通過湖南省科技廳驗收。
湖南省科技創(chuàng)新計劃項目是由省級財政專項資金安排,圍繞湖南省科技、經(jīng)濟和社會發(fā)展重大戰(zhàn)略,面向科技前沿、面向經(jīng)濟建設(shè)主戰(zhàn)場、面向湖南省重大科技需求,專門用于支持基礎(chǔ)研究、技術(shù)研發(fā)、成果轉(zhuǎn)化以及其他創(chuàng)新能力提升的科技活動。項目驗收采用同行評議、第三方評估和測試、用戶評價、現(xiàn)場核查等方式開展一次性綜合績效評價。普照材料高精度石英掩膜基版樣品試制項目評價結(jié)論為“優(yōu)秀”(本期驗收優(yōu)秀率約為15%)。
該項目總投資約2000萬元,通過自主研發(fā)和合作開發(fā),達成了TFT用石英基板產(chǎn)品平面度和平行度高性能指標(biāo)要求,攻克了Thin film膜系及PSM鉬硅膜系關(guān)鍵核心技術(shù)。為建設(shè)中的8.5代及以下高精度掩;屙椖繉嵤┨峁┝岁P(guān)鍵技術(shù)支持,同時為公司產(chǎn)品向半導(dǎo)體用掩模基板迭代升級打下堅實基礎(chǔ)。
未來,普照材料將持續(xù)加大新技術(shù)、新工藝的研發(fā)應(yīng)用投入,加強研發(fā)平臺建設(shè),形成“以屏帶芯,屏芯齊進”的戰(zhàn)略布局,為國產(chǎn)平板顯示與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展貢獻力量。
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