中國粉體網(wǎng)訊  在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，以先進(jìn)陶瓷為代表的關(guān)鍵零部件是支撐半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制造的重要載體，也是目前國產(chǎn)化替代的重要領(lǐng)域。同時(shí)，以碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體材料已展現(xiàn)出極其重要的戰(zhàn)略性應(yīng)用價(jià)值，其中碳化硅單晶制備占據(jù)價(jià)值鏈核心位置。

4月25日，由中國粉體網(wǎng)主辦的“第三屆半導(dǎo)體行業(yè)用陶瓷材料技術(shù)研討會(huì)暨第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長(zhǎng)技術(shù)交流會(huì)”在江蘇蘇州隆重開幕，會(huì)議期間，我們邀請(qǐng)到眾多專家學(xué)者做客“對(duì)話”欄目，圍繞先進(jìn)陶瓷在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用研究及碳化硅單晶生長(zhǎng)技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化進(jìn)行了訪談交流。今天我們邀請(qǐng)到的是來自湖南頂立科技股份有限公司董事長(zhǎng)戴煜。

粉體網(wǎng)：請(qǐng)戴總從公司主營(yíng)產(chǎn)品、研發(fā)實(shí)力、行業(yè)地位等方面全面介紹一下頂立科技。

戴總：頂立科技主要產(chǎn)品可以概括為“兩特”——特種熱工裝備和特種材料。特種熱工裝備方面，我們主要圍繞幾大領(lǐng)域，第一個(gè)是碳基和陶瓷基材料熱工裝備，重點(diǎn)體現(xiàn)在CVD等第三代半導(dǎo)體在內(nèi)的半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備以及半導(dǎo)體行業(yè)用陶瓷材料燒結(jié)爐。另一塊是先進(jìn)熱處理，如會(huì)上傅教授所講的AMB等工藝過程所涉及的金屬與陶瓷的釬焊、熱壓所需的熱工裝備。

特種材料方面，我們主要是圍繞第三代半導(dǎo)體碳化硅單晶生長(zhǎng)所需的“四高兩涂”，即高純碳粉、高純熱場(chǎng)材料、高純石墨、高純碳化硅粉以及碳化硅涂層石墨基座、碳化鉭涂層石墨件。

粉體網(wǎng)：請(qǐng)問戴總，您剛剛談到的“四高兩涂”具體應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？

戴總：關(guān)于“四高兩涂”我們就是定位于針對(duì)碳化硅和氮化鎵半導(dǎo)體生長(zhǎng)過程中關(guān)鍵原料，其中“四高”和碳化鉭涂層件主要是應(yīng)用于碳化硅單晶生長(zhǎng)過程中所需要的原材料；碳化硅涂層石墨基座則主要應(yīng)用于氮化鎵單晶生長(zhǎng)過程中。

頂立科技高純碳粉

粉體網(wǎng)：頂立科技的產(chǎn)品有什么優(yōu)勢(shì)？

戴總：我們頂立科技十分強(qiáng)調(diào)自主創(chuàng)新，同時(shí)提供高質(zhì)量產(chǎn)品以及在設(shè)備生命周期內(nèi)周到的服務(wù)，這從市場(chǎng)占有率和顧客的好評(píng)得以體現(xiàn)。

粉體網(wǎng)：第三代半導(dǎo)體生產(chǎn)所需裝備方面，頂立科技能提供哪些產(chǎn)品？

戴總：主要涉及“四高兩涂”相關(guān)的熱工裝備，比如高純提純爐，化學(xué)氣相沉積爐，碳化鉭涂層爐等。下一步我們將根據(jù)第三代半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展尤其是液相法單晶生長(zhǎng)技術(shù)的發(fā)展陸續(xù)提供配套的高端設(shè)備。

粉體網(wǎng)：好的，感謝戴總接受粉體網(wǎng)的采訪。

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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