中國粉體網(wǎng)訊  石英物理化學性能穩(wěn)定、耐高溫、耐腐蝕、透光和絕緣性好，是半導體制造過程中不可或缺的原材料。半導體行業(yè)對石英的純度要求極高，在半導體生產(chǎn)過程中，無論是提拉法生產(chǎn)單晶硅，還是清洗單晶硅和印制集成電路，都需要用到高純石英砂、硅微粉、多晶硅、石英坩堝和石英玻璃等。可見，半導體的原料和生產(chǎn)過程都離不開高純石英及其制品。2021年，半導體石英制品占據(jù)石英市場的68%，半導體是石英制品下游市場中占比最大的應用領域。

來源：菲利華官網(wǎng)

石英制品：半導體行業(yè)的重要基材

隨著我國半導體技術的發(fā)展，石英制品作為半導體關鍵材料，其重要性不斷凸顯，是國家戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)和支柱性產(chǎn)業(yè)發(fā)展中不可替代的高純基礎材料。

石英材料及其制品在半導體產(chǎn)業(yè)鏈中的應用

來源：東亞前海證券

石英制品屬于半導體工藝中的關鍵耗材。用于半導體的石英玻璃制品具有高純度、無污染、耐高溫等優(yōu)良特性，其應用貫穿半導體產(chǎn)業(yè)鏈的各個環(huán)節(jié)�？傮w來看，石英制品可用于擴散、氧化、沉積、光刻、蝕刻、清洗環(huán)節(jié)等關鍵過程。從產(chǎn)品結構來看，半導體石英器件、半導體石英基板、半導體石英玻璃（含坩堝）是石英制品在半導體領域的主要產(chǎn)品，三類產(chǎn)品的全球市場規(guī)模大致按4/3/3的占比分布。

石英玻璃材料及制品在不同工藝環(huán)節(jié)中的應用

來源：普華有策、東亞前海證券

具體來看，單晶生長需要用到石英坩堝和石英器件。晶圓加工環(huán)節(jié)，刻蝕、擴散、氧化、退火等步驟中需要用到大量的輔材石英制品，如石英片、石英環(huán)、石英舟等高純度石英制品。石英玻璃貫穿半導體制造的關鍵環(huán)節(jié)。石英材料和制品行業(yè)位于半導體產(chǎn)業(yè)鏈的中上游環(huán)節(jié)，半導體制程中，擴散、氧化、沉積、蝕刻工藝用到石英法蘭、石英擴散管、石英鐘罩等石英制品，石英錠、石英管等是上述石英制品的基材；合成石英錠是平板顯示技術中關鍵部件光掩膜基板的主基材。

國內(nèi)半導體石英發(fā)展的不足

近幾年，我國石英制品的發(fā)展速度有所提升。但國外石英加工技術領先于國內(nèi)，并對國內(nèi)石英行業(yè)進行技術封鎖，我國高端石英制品制造技術仍受制于人，半導體石英的發(fā)展存在著許多不足。

原材料石英砂供應高度壟斷

從市場情況看，國內(nèi)高純石英砂呈現(xiàn)高度壟斷的態(tài)勢。在上游石英砂產(chǎn)業(yè)中，高純石英砂生產(chǎn)與高品質(zhì)礦源密切相關，低品質(zhì)礦源提純較為困難，需要發(fā)掘優(yōu)質(zhì)礦源，或實現(xiàn)提純工藝的突破。

石英制品國產(chǎn)化率低

目前國內(nèi)石英制品主流供應商大部分為外資企業(yè)，占據(jù)著國內(nèi)半導體高端石英市場的主要份額。國內(nèi)石英制品的加工能力相比國際領先水平還有一定的差距，主要表現(xiàn)為材料純度水平不高、產(chǎn)品質(zhì)量不夠穩(wěn)定、先進產(chǎn)品不具備自主生產(chǎn)技術等。

進入設備廠商認證環(huán)節(jié)難

因設備廠商需求的高度定制化，石英制品是高度客戶導向性產(chǎn)業(yè)。打入石英制品原裝市場，最重要的就是獲得設備廠商的認證。與晶圓生產(chǎn)類似，石英制品高度強調(diào)產(chǎn)品的精密性和穩(wěn)定性，差之毫厘就會造成重大損失。因此，石英制品廠商想要打入設備廠商的供應鏈，必須要先邁過設備廠商的驗證關卡，這對石英制品廠商的工藝水平、管理水平都是極大的挑戰(zhàn)。

國產(chǎn)石英制品利潤率較低

半導體石英制品的驗證難，使得國內(nèi)石英制品廠商的產(chǎn)品大部分用于光伏領域，用于半導體制造的高端產(chǎn)品比重較低。相比于半導體石英制品，光伏石英制品的附加值低，這也導致國產(chǎn)石英制品整體的利潤率低于海外市場。

半導體石英的市場規(guī)模

隨著半導體景氣周期帶來的全球晶圓廠規(guī)模擴張，與之對應的石英市場也預期保持同比例的增長。石英玻璃制品在半導體生產(chǎn)線中屬于硬性消耗品，且隨著晶圓尺寸的增加，在半導體生產(chǎn)線中使用的石英玻璃制品的種類和數(shù)量相應增加。2021年全球半導體芯片銷售額為5559億美元，按石英制品規(guī)模與半導體銷售為規(guī)模的比例約為6.6：1000估算，則2021年全球半導體石英制品市場規(guī)模約為 240億元，按半導體芯片領域市場份額65%測算，2021年全球石英制品行業(yè)規(guī)模約為369.25億元。其中，美國市場占比47%，中國市場約占全球半導體銷售額的1/3，因此國內(nèi)石英制品2021年的市場需求約為123.08億元。

國內(nèi)主要半導體石英廠商

菲利華

湖北菲利華石英玻璃股份有限公司現(xiàn)為國內(nèi)外具有較大影響力和規(guī)模優(yōu)勢的石英材料及石英纖維制造企業(yè)。公司立足石英玻璃材料領域，同時不斷向上游石英砂和下游石英制品領域延伸，下游主要覆蓋半導體、航空航天、光通信、光學四大應用領域。

氣熔石英方面，公司已經(jīng)通過三大半導體設備商認證；電熔石英材料已研發(fā)成功送樣客戶并得到認可，上海石創(chuàng)的石英玻璃器件加工通過中微認證；合成石英方面，截至2022H1，公司10.5代TFT-LCD光掩膜基板已研發(fā)成功，具備量產(chǎn)能力。

2021年12月，公司子公司上海石創(chuàng)在湖北省荊州市荊州經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)投資建設半導體用高純石英制品加工項目，有助于提升半導體石英器件加工制造領域的生產(chǎn)能力，擴大有效產(chǎn)能。

石英股份

江蘇太平洋石英股份有限公司是一家集科研、生產(chǎn)、銷售為一體的高端石英材料深加工企業(yè)。經(jīng)過三十年的創(chuàng)新發(fā)展，公司現(xiàn)已成為中國石英材料行業(yè)中的標桿企業(yè)。主導產(chǎn)品有高純石英砂、石英管（棒）、大口徑石英擴散管、石英筒、石英錠、石英板等及多種石英器件。半導體產(chǎn)品有半導體級石英管、半導體級石英棒、半導體級石英筒、半導體級石英錠、半導體級石英板、石英陶瓷圓坩堝、半導體級石英砂等。

石英股份連熔法生產(chǎn)的系列產(chǎn)品如石英大管、石英棒、石英大板、石英筒，均已通過半導體廠商認證，技術國際領先。公司加大推進電子級半導體石英產(chǎn)品的認證工作，在通過東京電子高溫擴散領域認證后，又相繼通過東京電子刻蝕領域和美國LAM刻蝕認證，美國應用材料認證也持續(xù)取得階段性進展。2022年上半年半導體板塊石英產(chǎn)品銷售實現(xiàn)了快速增長，市場影響力逐步擴大。

凱德石英

凱德石英是一家有著二十多年歷史的石英產(chǎn)品加工企業(yè)，經(jīng)過多年的持續(xù)發(fā)展，目前已建立起一套成熟高效的研發(fā)和創(chuàng)新體系，技術水平處于國內(nèi)領先級別。公司主營業(yè)務為石英儀器、石英管道、石英舟等石英玻璃制品的生產(chǎn)、研發(fā)和銷售；公司產(chǎn)品作為下游企業(yè)的生產(chǎn)耗材，廣泛應用于半導體集成電路芯片領域、光伏太陽能行業(yè)領域及其他領域。

凱德石英半導體用石英儀器

來源：凱德石英招股說明書、安信證券

凱德石英半導體用石英儀器

來源：凱德石英公開發(fā)行說明書、安信證券

公司半導體用石英制品，主要有石英舟、石英管道、石英儀器三個類別，具有高純、耐高溫、化學穩(wěn)定性好的特點，主要應用的環(huán)節(jié)有氧化、擴散、化學氣相沉積（CVD）、清洗、刻蝕。

參考來源：

王九一.高純石英——二氧化硅中的大熊貓

顏玲亞.中國高純石英資源開發(fā)利用現(xiàn)狀及供需形勢

芯謀研究.國內(nèi)半導體石英制品市場發(fā)展情況

普華有策.石英材料制品行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈結構及細分市場應用情況

菲利華官網(wǎng)、凱德石英年度報告、石英股份年度報告、開源證券、安信證券、民生證券、東亞前海證券

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/初末）

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