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ML7300 遠(yuǎn)紫外線 光譜儀
♦ 用于軟X射線和遠(yuǎn)紫外線
♦ 易于使用，直接調(diào)整光源
♦ 標(biāo)準(zhǔn)平面圖像，低雜散光，光學(xué)畸變校正
♦ 省時(shí)，光柵變化后無(wú)需調(diào)整
♦ 模塊化，利用ML7310真空縫，ML3214相機(jī)，ML7320能量監(jiān)控
器 - 所有設(shè)備安裝在一起，就可完成測(cè)量工具升級(jí)
♦ 調(diào)整輪(手動(dòng)控制的狹縫寬度從0 到 400 μm) 和 鎖定機(jī)制
♦ 根據(jù)需求定制
光學(xué)規(guī)格
| 類(lèi)型: | 標(biāo)準(zhǔn)平面圖像光柵光譜儀 |
| 光學(xué)元件: | 像差校正成像反射光柵 |
| 入口: | 2°光柵傾斜調(diào)整 |
| 光譜范圍: | 1 to 21 nm (多個(gè)光柵) |
| 光譜分辨率: | > 600 (取決于光柵，源和探測(cè)器的選擇) |
| 對(duì)象寬度: | app. 237 mm |
| 成像寬度: | app. 235 mm |
| 譜長(zhǎng)度: | app. 25 to 30 mm |
| 光譜寬度: | 達(dá)到 27 mm (可以根據(jù)選擇 ML7300真空狹縫進(jìn)行調(diào)整) |
相機(jī)大致的對(duì)準(zhǔn)平面圖像的范圍；用千分尺調(diào)整約50毫米(1 pm at 10 nm)。零階成像和校準(zhǔn)。
機(jī)械特性
| 輕型入口法蘭: | DN100-ISO-CF |
| 輕型出口法蘭: | DN63-ISO (K)F or DN 6.75 inch CF |
| 出 口: | DN16 針孔閥， 內(nèi)藏的 |
| 泵 法 蘭: | DN63 |
| 擺 動(dòng): | DN63 |
| HV 兼 容: | 所有材料都是不銹鋼和鋁，兼容 HV |
| 尺寸規(guī)格: | 760 x 430 x 405 mm 3 |
| 重 量: | 大約 36 kg |
鎖定千分尺可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜調(diào)節(jié)，該支點(diǎn)位于平面圖像上。
附 件
♦ 按要求對(duì)光柵鍍金
♦ 附加安裝光柵的（建議快速交換光柵，節(jié)省調(diào)整）
♦ 應(yīng)用特定的羅珀科學(xué)或metrolux的相機(jī)
♦ ML7310真空狹縫(使用光譜儀系統(tǒng)選項(xiàng))
♦ 真空法蘭以適應(yīng)請(qǐng)求的自定義設(shè)計(jì)
♦ 光柵容易對(duì)準(zhǔn)校準(zhǔn)激光器和狹縫
♦ beamlux II 軟件
♦ PC or laptop
♦ 激光同步裝置或觸發(fā)盒子
♦ 工作車(chē)高度可調(diào) (900 mm x 750 mm x 800 mm)
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