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主動式防震臺+HERZ+AVI600

為各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡。白光干涉儀，光刻機，微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器提供主動隔振系統(tǒng)！

AVI-600 為緊湊型的主動隔振系統(tǒng)，是納米技術(shù)大型儀器隔振的**解決方案。對升級和整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振功能的設(shè)備來說是理想的選擇，AVI-600 work station可自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸大小和配置，通過增加隔振模塊的數(shù)量可以增大系統(tǒng)的承重（**承重可至9000磅）。

工作原理

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術(shù)，適用于任何科研環(huán)境下，該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動隔振臺利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機械共振。

產(chǎn)品特點

主動隔振頻率 1Hz - 200Hz

• 被動隔振頻率>200Hz

• 5-20ms的響應(yīng)時間

• 安裝簡單，容易使用

• 穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年

• 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計

產(chǎn)品應(yīng)用

• SEM 、TEM

• UHV-SPM 光刻

• 隧道顯微鏡

• Fabry-Perot干涉儀

• 大型對振動敏感的儀器設(shè)備

性能優(yōu)勢

• 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除

• 六個空間方向的自由隔振

• 系統(tǒng)內(nèi)部反饋回路抑制所有機械共振

• 低頻隔振性能優(yōu)秀

• 無低頻共振、無空氣要求

技術(shù)參數(shù)：

兼容性：

AVI-600 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

主動隔振，主動減振，主動除振，主動防振系統(tǒng)。為各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡。白光干涉儀，光刻機，微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器！超低頻隔震臺、防震臺、減震臺、除震臺。