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核心參數(shù)

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簡介：

• 高度精密

• 快速

• 可靠

• 經(jīng)濟

一個顯微鏡升級成3D表面測量儀

白光干涉法是一個確定地形和表面光滑粗糙的方法。測量精度可達到近似納米理論上無限的高度范圍。

經(jīng)典光學(xué)顯微鏡可以擴展成一個完善的掃描干涉顯微鏡使其實用性顯著增加。使用這個高精度3D數(shù)據(jù)測量原理可以收集整個顯微鏡的可視范圍。顯微鏡和smartWLI可以完成各種類型的3D分析為基礎(chǔ)。

GBS mbH為客戶提供一個廉價且有吸引力的軟件包解決方案，指定smartWLImicroscope可改造現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)*。

在下列條件下是可改進:

• 顯微鏡是專為無限中間圖像設(shè)計的。

• 可反射光場照明

• 顯微鏡有一個攝像機架。

• 連接管的尺寸能換目鏡。

這些需求通常是由顯微鏡在工業(yè)和醫(yī)療的應(yīng)用而實現(xiàn)。

改造包含以下組件(附上調(diào)節(jié)的參數(shù)):

• 一種自動、高精度定位系統(tǒng)

• 一個特殊的干涉物鏡

• 一個高速、敏感度高的數(shù)碼相機

• 一個有分析軟件高性能計算機系統(tǒng)

顯微鏡生成的2D圖像

3D圖像——掃描干涉顯微鏡的功能

測量系統(tǒng)
測量原理	白光干涉法
z-定位系統(tǒng)	Piezo 物鏡調(diào)節(jié)系統(tǒng)
高度測量范圍垂直分辨率	Up to 400 μm 〈1 nm
光源	LED
相機模塊	CCD 782 x 582 pixel
物鏡放大倍數(shù) 橫向測量范圍 *小分辨率	10x or 20x or 50x 649x483 um² or 324x241 um² or 129x96 um² 1.66 µm or 0.96 µm or 0.70 µm
測量時間	<1 min
軟件
smartWLI	軟件用于測量地形和使用一個直接接口到MountainsMap分析軟件輸出的3D數(shù)據(jù)，自動拼接模塊
MountainsMap®	廣泛的分析軟件以及輪廓和三維可視化、測量數(shù)據(jù)預(yù)處理和后處理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量測定，順序處理，測量記錄
文檔格式	ASCII， SUR， BCR-STM， BMP， JPEG， TIFF