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Digital Holographic Microscopy (DHM) generates， in real-time， high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time.
儀器簡介
瑞士Lyncee tec公司的材料3D實時動態(tài)顯微鏡DHM R1000 “DHM（Digital Holographic Microscopy）主要應用是在MEMS研發(fā)中用于測量工作，以及在生產(chǎn)線用于缺陷檢測。與上述用途中現(xiàn)在經(jīng)常使用的共焦顯微鏡相比，在同行分辨率下能夠更高速地進行測量。垂直方向的分辨率為0.6nm，水平方向為200nm～300nm（取決于物鏡）。使用1.25倍率的物鏡時視野為4mm×4mm，可以15幀/秒的速度進行測量。因此，25px見方的試樣幾分鐘即可完成觀察。使用現(xiàn)有共焦顯微鏡時，同等范圍的觀察則需要幾個小時～10小時。此外產(chǎn)品**可將觀察速度擴展至1萬幀/秒。由于攝影速度快，因此不需減震臺，可用來檢測流水線上的產(chǎn)品。
照射到試料上的光線與參照光產(chǎn)生的干涉圖案使用CCD相機，作為數(shù)字數(shù)據(jù)保存下來，由此算出三維數(shù)據(jù)。計算三維數(shù)據(jù)時使用的是專用軟件“Koala Software”。
主要特點:
·非接觸式3D成像
·可進行相位測量
·自動相干補償
·高分辨、實時測量
技術規(guī)格
系統(tǒng)
·測量技術： 單波長透射式數(shù)字全息顯微鏡
·成像類型： 強度及定量相差 (DHM模式)
·光 源： 單波長激光
·樣品臺： 手動或自動XYZ平臺， 行程200mm××100mm×15mm
·相 機： 1392×1040像素， 8bits
·有效物鏡： 標準顯微物鏡， 長工作距離物鏡， 油鏡或水鏡
性能
·縱向分辨率： 10nm
·垂直測量范圍： 可達340nm (取決于樣品)
·橫向分辨率： 300nm (1.4NA)
·視場范圍： 4.4mm
·工作距離： 0.3~18mm
·數(shù)字聚焦范圍： 達到50倍場深
·抓圖時間： 小于1us
·空間采樣： 1024×1024像素
·采樣速率： 15fps (1024×1024像素)
·單波長重建速率：15fps (512×512像素)， 4fs(1024×1024像素)
·樣品照明： 小于1uW/cm2
·**樣品尺寸： 200mm×200mm
電源要求
·輸入電壓： 85-260VAC， 50/60Hz
·功率： 480W
重量&尺寸
·顯微鏡部分： 500×500×500mm&34.5kg
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