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ZEM-5 Series塞貝克系數(shù)/電阻測量系統(tǒng)可以對高溫材料，高電阻材料，薄膜材料等多種材料進行測量。

應(yīng)用：

評估半導(dǎo)體、陶瓷、金屬等材料的熱電性能。

特性：

1. 應(yīng)用于各種材料的特性及特殊規(guī)格的薄膜等；

2. 測試Si系列(SiGe, MgSi). (HT 型) 的材料的**溫度傳感器是使用C型熱電偶；

3. 標(biāo)配V-I圖自檢測系統(tǒng)；

4. **測試溫度1200℃（HT 型）；

5. **測量電阻10MΩ（HR 型）；

6. 測量在襯底上的熱電沉積膜（TF 型）；

7. 溫控范圍在-150℃~200℃（LT 型）；

設(shè)備參數(shù)：

Seebeck系數(shù)測量方法  設(shè)備參數(shù)（HT型）