雙層石墨烯的化學(xué)氣相沉積制備研究綜述

編號：NMJS07125

篇名：雙層石墨烯的化學(xué)氣相沉積制備研究綜述

作者：張學(xué)薇 鄒振興 趙沛 王宏濤

關(guān)鍵詞： 雙層石墨烯 化學(xué)氣相沉積 生長機(jī)理 拉曼光譜 催化劑 堆垛形式

機(jī)構(gòu)： 浙江大學(xué)應(yīng)用力學(xué)研究所 浙江大學(xué)交叉力學(xué)中心

摘要： 石墨烯具有很多優(yōu)異的性質(zhì),是非常理想的硅晶體替代材料,有可能徹底改變現(xiàn)在人們的生活,引發(fā)新一輪的科技革命。但是單層石墨烯是一種零帶隙的半金屬,在半導(dǎo)體電子器件方面受到很大局限性。AB堆垛雙層石墨烯的帶隙可由外部垂直電場打開,既可用于半導(dǎo)體電子器件領(lǐng)域,又可以大大降低薄膜電阻,用于透明導(dǎo)電薄膜。盡管石墨烯制備方法很多,但受限于成本、質(zhì)量、規(guī)�；�等,化學(xué)氣相沉積法是制備大面積、高質(zhì)量雙層石墨烯最主要的手段。綜述了利用化學(xué)氣相沉積法制備雙層石墨烯的一系列工作,首先介紹單雙層石墨烯的生長機(jī)理,主要根據(jù)催化劑類型對鎳、銅、銅鎳合金上石墨烯形核和生長作出解釋;然后從碳源、生長氛圍、催化劑、基底結(jié)構(gòu)等對雙層石墨烯的均勻性、晶疇尺寸和堆垛形式等方面進(jìn)行分析;最后,總結(jié)以上化學(xué)氣相沉積法制備雙層石墨烯的工作,并對該領(lǐng)域的發(fā)展進(jìn)行展望。