藍(lán)寶石襯底上石墨烯的制備研究

編號(hào)：NMJS07123

篇名：藍(lán)寶石襯底上石墨烯的制備研究

作者：鄒偉 李多生 洪躍 葉寅 林奎鑫 熊財(cái)梓

關(guān)鍵詞： 化學(xué)氣相沉積 石墨烯 藍(lán)寶石 刻蝕

機(jī)構(gòu)： 南昌航空大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院

摘要： 開展了化學(xué)氣相沉積(CVD)法在藍(lán)寶石襯底上直接生長(zhǎng)石墨烯的制備研究和模擬研究,研究襯底表面形貌和生長(zhǎng)溫度對(duì)石墨烯的影響。運(yùn)用原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射(XRD)、場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)、拉曼光譜(Raman)、高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM)等對(duì)石墨烯生長(zhǎng)開展了微結(jié)構(gòu)研究。模擬研究發(fā)現(xiàn),氫氣對(duì)襯底表面形貌具有重要影響,在H原子的作用下Al—O鍵被拉長(zhǎng)了51.42%,近乎斷裂,因而對(duì)藍(lán)寶石襯底的表面粗糙度產(chǎn)生影響。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)H2對(duì)藍(lán)寶石襯底有刻蝕作用,刻蝕后的藍(lán)寶石襯底表面粗糙度Ra變大,不易于石墨烯生長(zhǎng)。隨著生長(zhǎng)溫度的升高,生長(zhǎng)的石墨烯質(zhì)量也逐漸變好。