化學(xué)氣相沉積石墨烯薄膜的潔凈轉(zhuǎn)移

編號(hào)：NMJS07115

篇名：化學(xué)氣相沉積石墨烯薄膜的潔凈轉(zhuǎn)移

作者：張曉波 青芳竹 李雪松

關(guān)鍵詞： 石墨烯 化學(xué)氣相沉積 轉(zhuǎn)移 污染

機(jī)構(gòu)： 電子科技大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院

摘要： 石墨烯因其優(yōu)異的性能在很多領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景.目前石墨烯薄膜主要是以銅作為催化基底,通過化學(xué)氣相沉積法制備.這種方法制備的石墨烯薄膜需要被轉(zhuǎn)移到目標(biāo)基底上進(jìn)行后續(xù)應(yīng)用,而轉(zhuǎn)移過程則會(huì)對(duì)石墨烯造成污染,進(jìn)而影響石墨烯的性質(zhì)及器件的性能.如何減少或避免污染,實(shí)現(xiàn)石墨烯的潔凈轉(zhuǎn)移,是石墨烯薄膜轉(zhuǎn)移技術(shù)研究的重要課題,也是本綜述的主題.本綜述首先簡單介紹了石墨烯的轉(zhuǎn)移方法;進(jìn)而重點(diǎn)討論由于轉(zhuǎn)移而引入的各種污染物及其對(duì)石墨烯性質(zhì)的影響,以及如何抑制污染物的引入或如何將其有效地去除;最后總結(jié)了石墨烯潔凈轉(zhuǎn)移所存在的挑戰(zhàn),展望了未來的研究方向和機(jī)遇.本綜述不僅有助于石墨烯薄膜轉(zhuǎn)移技術(shù)的研究,對(duì)整個(gè)二維材料器件的潔凈制備也將有重要參考價(jià)值.