基于WS2納米片的柔性濕度傳感器制備與測(cè)試

編號(hào)：CPJS06353

篇名：基于WS2納米片的柔性濕度傳感器制備與測(cè)試

作者：呂文 譚秋林

關(guān)鍵詞： 傳感器 柔性基底 WS2納米片 濕度監(jiān)控 呼吸監(jiān)控

機(jī)構(gòu)： 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

摘要： 提出了一種基于WS2納米片的聚酰亞胺柔性濕度傳感器,傳感器柔性薄膜和叉指電容電極分別采用加熱亞胺化工藝和絲網(wǎng)印刷制備得到,其制備工藝簡(jiǎn)單,成本低廉。實(shí)驗(yàn)表明該柔性濕度傳感器能夠測(cè)量25%RH~85%RH的濕度,且在高濕度范圍內(nèi)(60%RH~85%RH),該柔性濕度傳感器的靈敏度高達(dá)50.42 pF/%RH。傳感器的響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間分別為11和26 s,具有較好的穩(wěn)定性和重復(fù)性。此外,該柔性傳感器的呼吸性能測(cè)試結(jié)果表明,其能夠用于監(jiān)測(cè)時(shí)間間隔為2~10 s的呼吸狀態(tài),暗示該傳感器可用于某些和呼吸頻率有關(guān)的疾病診斷。