Sn摻雜ZnO納米結(jié)構(gòu)濕度傳感器的制備與特性

編號：SBJS00686

篇名：Sn摻雜ZnO納米結(jié)構(gòu)濕度傳感器的制備與特性

作者：匡旭良 葉子 孫寧 宋小軍 劉偉景

關(guān)鍵詞： 濕度傳感器 ZNO納米結(jié)構(gòu) 水熱法 載流子濃度 傳感特性

機構(gòu)： 上海電力學(xué)院電子與信息工程學(xué)院

摘要： 首先采用水熱法制備了四種不同Sn摻雜量的一維Zn1-xSnxO納米結(jié)構(gòu)材料,然后通過介電泳納米操控技術(shù)將制備的四種納米結(jié)構(gòu)排布到預(yù)先設(shè)計的Ti/Au電極之間,進而構(gòu)建四種濕度傳感器,并進行傳感特性測試。通過對四種傳感結(jié)構(gòu)的測試結(jié)果分析發(fā)現(xiàn),采用原子數(shù)分數(shù)為3%的Sn摻雜ZnO納米材料構(gòu)建的傳感器具有較好的傳感特性,相對濕度在11.3%-97.3%內(nèi)其最大靈敏度為7 397%,響應(yīng)與恢復(fù)時間均為2 s。結(jié)合濕度多層吸附理論深入研究摻雜對濕度傳感特性的影響。結(jié)果表明,通過Sn摻雜對納米結(jié)構(gòu)中載流子濃度以及晶格應(yīng)變的調(diào)控,可以有效改善材料的電導(dǎo)與表面特性,提升Zn1-xSnxO納米濕度傳感器的靈敏度、響應(yīng)與恢復(fù)時間和遲滯等傳感特性。