基于懸浮式石墨烯的應(yīng)變傳感器發(fā)展概述

編號：SBJS00673

篇名：基于懸浮式石墨烯的應(yīng)變傳感器發(fā)展概述

作者：張瑋峰 李曉莉 張子生 尚雅軒 李曉葦

關(guān)鍵詞： 石墨烯 懸浮式 應(yīng)變傳感器 壓力靈敏度

機構(gòu)： 河北大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院河北省光電信息材料重點實驗室 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體超晶格國家重點實驗室

摘要： 石墨烯材料具有獨特的機械與電學(xué)性質(zhì),迅速成為當(dāng)前科研的熱點。基于石墨烯構(gòu)建應(yīng)變傳感器,不僅可以豐富傳感器的構(gòu)建材料,而且借助石墨烯特有的性質(zhì),可以研制出比硅性能更優(yōu)異的應(yīng)力傳感器。本文介紹了近些年來懸浮式石墨烯應(yīng)變傳感器的設(shè)計與制造技術(shù)的發(fā)展,介紹了傳感器的結(jié)構(gòu)、原理、靈敏度等性能,闡述了對傳感器的結(jié)構(gòu)和性能進行改進和優(yōu)化的過程�；�于懸浮式石墨烯的應(yīng)變傳感器可應(yīng)用于納機電系統(tǒng)（NEMS）,在醫(yī)學(xué)、生物等納米領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用潛力。