沉積溫度對(duì)VC納米薄膜摩擦學(xué)性能的影響

編號(hào)：NMJS06374

篇名：沉積溫度對(duì)VC納米薄膜摩擦學(xué)性能的影響

作者：徐強(qiáng)[1] ;楊光敏[2,3] ;秦宏宇[1] ;白繼鵬[3]

關(guān)鍵詞： 基底溫度 薄膜 摩擦學(xué)性能 碳化釩納米薄膜

機(jī)構(gòu)： [1]長(zhǎng)春工程學(xué)院勘查與測(cè)繪工程學(xué)院,長(zhǎng)春130022; [2]長(zhǎng)春師范大學(xué)物理學(xué)院,長(zhǎng)春130032; [3]吉林大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院,長(zhǎng)春130012

摘要： 采用磁控濺射技術(shù)沉積碳化釩（VC）納米薄膜,研究溫度對(duì)VC薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)及摩擦磨損性能的影響,并分析其內(nèi)在關(guān)系.結(jié)果表明,沉積溫度升高對(duì)VC薄膜的相結(jié)構(gòu)和摩擦系數(shù)影響較小,有利于降低薄膜中的應(yīng)力和粗糙度,可提高薄膜的硬度.