微納米結(jié)構(gòu)的電驅(qū)動(dòng)模塑成形工藝及其界面物理行為研究

編號(hào)：FTJS06806

篇名：微納米結(jié)構(gòu)的電驅(qū)動(dòng)模塑成形工藝及其界面物理行為研究

作者：李祥明 ;丁玉成 ;邵金友

關(guān)鍵詞： 微納米結(jié)構(gòu) 成形工藝 模塑 行為研究 界面物理 電驅(qū)動(dòng) 成形技術(shù) 產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域

機(jī)構(gòu)： 西安交通大學(xué)

摘要： 以納米壓印為代表的模塑成形工藝，被認(rèn)為是一種低成本、高效率、高分辨率的納米結(jié)構(gòu)成形技術(shù)，被許多重要的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域寄予了厚望，甚至被國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖（ITRS）列為未來(lái)最有可能代替光學(xué)光刻的一種圖形化技術(shù)。然而此類技術(shù)在填充和脫模過(guò)程中的缺陷控制和模板壽命方面的困難，一直是限制其深入走向產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的關(guān)鍵問(wèn)題。因此，研究微納米結(jié)構(gòu)的模塑成形工藝在其流變過(guò)程和表界面行為中的缺陷形成機(jī)理，并提出行之有效的解決方案，是推動(dòng)微納米結(jié)構(gòu)模塑成形技術(shù)走向產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的重要課題。