CeO2-Co3O4納米晶粒對甲烷氣敏性影響分析

編號：CPJS05404

篇名：CeO2-Co3O4納米晶粒對甲烷氣敏性影響分析

作者：曹小榮[1] ;胡明江[2]

關(guān)鍵詞： 直接沉淀法 納米晶粒 敏感薄膜 甲烷傳感器 靈敏度

機構(gòu)： [1]河南質(zhì)量工程職業(yè)學(xué)院,河南平頂山467000; [2]河南城建學(xué)院能源與建筑環(huán)境工程學(xué)院,河南平頂山467036

摘要： 為了快速準(zhǔn)確檢測礦井中的甲烷氣體濃度，以直接沉淀法制備了不同含量CeO2的CeO2-Co3O4納米晶粒。利用掩膜法將制備的CeO2-Co3O4納米晶粒鍍膜于氧化硅絕緣層表面形成敏感薄膜，采用標(biāo)準(zhǔn)MEMS工藝制作了一種薄膜型甲烷傳感器。采用X射線衍射儀表征了CeO2-Co3O4納米晶粒的相組成和微觀形貌，利用全自動程序化學(xué)吸附儀分析了CeO2-Co3O4納米晶粒對甲烷的吸附機理。在氣體傳感器靜態(tài)測試系統(tǒng)上，測試了甲烷傳感器靈敏度、濕度、溫度、動態(tài)響應(yīng)、抗干擾和長期穩(wěn)定性等特性。結(jié)果表明：以Ce30為敏感薄膜的甲烷傳感器靈敏度為98．3％，動態(tài)響應(yīng)時間為11s，恢復(fù)時間為8s。在礦井中連續(xù)使用12個月后，靈敏度衰減了8．5％。表明該甲烷傳感器可實現(xiàn)礦井中甲烷氣體在線檢測。