基于納米壓印的超材料近紅外吸收器的制備研究

編號：SBJS00627

篇名：基于納米壓印的超材料近紅外吸收器的制備研究

作者：姜祎祎[1,2] ;張斌[1,2] ;杜磊[1,2] ;程紀(jì)偉[1,3] ;唐偉偉[1,2] ;陳剛[1] ;郝加明[1] ;王興軍[1]

關(guān)鍵詞：超材料吸收器 LSPR 納米壓印

機構(gòu)： [1]中國科學(xué)院h海技術(shù)物理研究所紅外物理國家重點實驗室,上海200083; [2]中國科學(xué)院大學(xué),北京100049; [3]上海理工大學(xué),上海200093

摘要： 超材料吸收器的高吸收率源于表面金屬顆粒與介質(zhì)層之間產(chǎn)生的局域等離激元共振以及由金屬顆粒-介質(zhì)層-金屬反射層構(gòu)成的微腔所導(dǎo)致的共振吸收。其吸收特性與金屬顆粒的尺寸、形貌和介質(zhì)層的材料和厚度密切相關(guān)。設(shè)計優(yōu)化了一個在近紅外波段1.2μm處具有近完美吸收的超材料吸收器。以該設(shè)計為藍(lán)圖,利用納米壓印技術(shù)制備了一系列具有不同介質(zhì)層厚度的器件,并利用紅外反射譜定量研究了這些器件的吸收特性。實驗結(jié)果證實,用納米壓印技術(shù)制備的超材料器件具有工藝可靠性好、加工精度高等優(yōu)點。實驗測得的吸收率變化趨勢與理論預(yù)期相符,吸收率較高。