石墨平臺(tái)微結(jié)構(gòu)的納米級紅外光譜表征

編號：CPJS04829

篇名：石墨平臺(tái)微結(jié)構(gòu)的納米級紅外光譜表征

作者：史云勝[1,2] ;劉秉琦[1] ;楊興[2,3]

關(guān)鍵詞：微機(jī)電器件 紅外光譜 納米級 石墨微結(jié)構(gòu)

機(jī)構(gòu)： [1]軍械工程學(xué)院電子與光學(xué)工程系,石家莊050003; [2]清華大學(xué)精密儀器系,北京100084; [3]清華大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,北京100084

摘要： 具有原子級光滑平面的石墨平臺(tái)微結(jié)構(gòu)是實(shí)現(xiàn)特殊功能微機(jī)電器件、微系統(tǒng)的重要基礎(chǔ)。石墨微結(jié)構(gòu)的化學(xué)信息表征對微機(jī)電器件、微系統(tǒng)的制備及性能有著重要的意義。先使用原子力顯微鏡獲得形貌信息,再使用納米級紅外光譜對微結(jié)構(gòu)的不同區(qū)域進(jìn)行表征,獲得了多個(gè)特征位置的紅外光譜。通過對紅外光譜的分析發(fā)現(xiàn)相對于其他位置,石墨平臺(tái)表面具有非常有序的碳六元環(huán)結(jié)構(gòu),并且吸附的水分子最少。而石墨平臺(tái)微結(jié)構(gòu)的邊緣由于懸鍵及微加工等原因是吸附水分子最多的位置,石墨基底由于微加工的破壞已經(jīng)不具有碳六元環(huán)結(jié)構(gòu)。這些信息為了解微結(jié)構(gòu)的化學(xué)狀態(tài)提供了幫助,明確所處環(huán)境對石墨平臺(tái)微結(jié)構(gòu)不同位置的影響,能夠指導(dǎo)微機(jī)電器件的制備與應(yīng)用。