激光合成波長納米位移測量干涉儀的研制

編號：CSJS00195

篇名：激光合成波長納米位移測量干涉儀的研制

作者：嚴(yán)利平

關(guān)鍵詞：納米級精度 位移測量 合成波長 干涉儀 激光 細(xì)分原理 干涉條紋 微小位移

機(jī)構(gòu)：

摘要： 本文采用合成波長干涉條紋細(xì)分原理,提出激光合成波長納米位移測量干涉儀的研制,以檢測參考鏡毫米或微米級的位移來表征測量鏡納米級的微小位移,并利用單波長干涉信號作為標(biāo)記參考信號,在同一干涉儀中實現(xiàn)了毫米量程測量范圍和納米級精度位移的同時測量,且具有米溯源性。