硅氧合金薄膜及其在高效納米硅薄膜疊層太陽電池中的應(yīng)用研究

編號：CPJS04805

篇名：硅氧合金薄膜及其在高效納米硅薄膜疊層太陽電池中的應(yīng)用研究

作者：俞鳳至[1] ;胡安紅[2] ;郁摒[2] ;曲銘浩[2] ;汪濤[3] ;張銘[1] ;嚴(yán)輝[1] ;張津巖[2] ;徐希翔[3]

關(guān)鍵詞：太陽電池 非晶硅/納米硅疊層電池 硅氧合金薄膜 p層非晶硅氧薄膜 n層納米硅氧薄膜

機構(gòu)： [1]北京工業(yè)大學(xué),北京100124; [2]漢能光伏集團雙流研發(fā)中心,雙流610200; [3]四川漢能光伏有限公司,雙流610200

摘要： 系統(tǒng)研究兩種不同形態(tài)的硅氧合金薄膜，用甚高頻PECVD系統(tǒng)制備的非晶硅氧和納米硅氧薄膜的特性，以及其在納米硅薄膜疊層薄膜太陽電池中的應(yīng)用。實驗中主要通過對不同的氣體流量比的優(yōu)化、沉積功率和沉積壓力的優(yōu)化，分別制備出光學(xué)帶隙約為2．1ev，折射率約為3的a-SiOx：B：H薄膜，作為非晶硅頂電池的p1層，以及帶隙為2．2～2．5ev，折射率為2．0～2．5，晶化率為20％～50％的nc-SiOx：P：H薄膜，作為非晶硅／納米硅疊層電池的中間反射層和納米硅的底電池n2層。最后將優(yōu)化后的a-SiOx：B：H和nc-SiOx：P：H薄膜應(yīng)用到非晶硅／納米硅薄膜疊層電池中，在0．79m。的玻璃基板上制備出初始峰值功率為101．1W、全面積初始轉(zhuǎn)換效率為12．8％、穩(wěn)定峰值功率為87．3W、全面積穩(wěn)定轉(zhuǎn)換效率為11．1％的非晶硅／納米硅疊層電池。