微流控技術制備ZnO納米線陣列及其氣敏特性

編號：NMJS05083

篇名：微流控技術制備ZnO納米線陣列及其氣敏特性

作者：胡杰； 鄧霄； 桑勝波； 李朋偉； 李剛； 張文棟；

關鍵詞：氧化鋅納米線； 微流控技術； 水熱法； 氣敏性能；

機構： 太原理工大學信息工程學院微納系統(tǒng)研究中心； 太原理工大學新型傳感器與智能控制教育部與山西省重點實驗室； 太原理工大學物理與光電工程學院；

摘要： 利用微流控技術在微通道中制備了Zn O納米線陣列,通過X射線衍射和掃描電子顯微鏡分別對納米線的物相和表面形貌進行了表征.結果發(fā)現(xiàn),合成的Zn O納米線具有良好的c軸擇優(yōu)取向性和結晶度.同時,對Zn O納米線陣列在丙酮、甲醇和乙醇氣體中的氣敏特性進行了研究,測試結果表明:在最佳工作溫度(475?C)下,納米線陣列對200 ppm(1 ppm=10-6)丙酮氣體的最大靈敏度可達8.26,響應恢復時間分別為9和5 s;通過與傳統(tǒng)水熱法制備的Zn O納米線的氣敏性能相比較發(fā)現(xiàn),基于微流控技術制備的納米線陣列具有更高的靈敏度和更快的響應恢復速度.最后,從材料表面氧氣分子得失電子的角度對Zn O納米線氣敏機理進行了討論.