微納米加工工藝數(shù)據(jù)庫的設(shè)計研究

編號：NMJS05080

篇名：微納米加工工藝數(shù)據(jù)庫的設(shè)計研究

作者：張楠； 王敏銳

關(guān)鍵詞：納米加工； 工藝數(shù)據(jù)庫； 納米工藝；

機構(gòu)： 蘇州大學(xué)； 中科院蘇州納米所；

摘要： 面向973重大科學(xué)研究計劃"基于納米結(jié)構(gòu)的寬光譜高效太陽能電池關(guān)鍵科學(xué)問題研究"、"低維等離子體系統(tǒng)的量子調(diào)制及應(yīng)用研究"和江蘇省重大成果轉(zhuǎn)化項目"第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展關(guān)鍵材料-氮化稼(GaN)晶片開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"的微納米結(jié)構(gòu)和器件制備需要,依托蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米加工公共平臺和測試分析平臺產(chǎn)生的豐富的微納米加工工藝數(shù)據(jù)資源,研究設(shè)計一個微納加工工藝數(shù)據(jù)庫,包括原始數(shù)據(jù)存儲數(shù)據(jù)庫、數(shù)據(jù)整合集成數(shù)據(jù)庫、運行狀態(tài)數(shù)據(jù)庫、典型問題數(shù)據(jù)庫、異常信息數(shù)據(jù)庫等,實現(xiàn)對微納米器件加工工藝的有效收集、整理和加工提煉,滿足科研人員數(shù)據(jù)分析、計算和開發(fā)新工藝的模擬預(yù)測的需求,形成一批通用微納加工工藝,并逐步在中科院研究所間以及研究所與企業(yè)間實現(xiàn)數(shù)據(jù)共享。通過微納加工工藝數(shù)據(jù)庫的建立,收集積累大量的加工工藝,為科研人員進(jìn)一步開展微納米器件研究提供必要的通用工藝及其加工工藝模擬分析,實現(xiàn)成果共享,減少費時費錢的通用微納加工工藝的重復(fù)研究,加快研究進(jìn)程,達(dá)到降低研究成本和提高研究效率的作用。