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            親水性固結(jié)磨料研磨墊自修整過(guò)程的實(shí)現(xiàn)探索

            編號(hào):SBJS00390

            篇名:親水性固結(jié)磨料研磨墊自修整過(guò)程的實(shí)現(xiàn)探索

            作者:唐曉驍; 朱永偉; 王成; 顧勇兵; 居志蘭; 李軍;

            關(guān)鍵詞:親水性固結(jié)磨料研磨墊; 三乙醇胺; 材料去除率; 自修整; 砂漿磨損率;

            機(jī)構(gòu): 南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院,江蘇省精密與微細(xì)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;

            摘要: 親水性固結(jié)磨料研磨墊(FAP)的自修整過(guò)程影響著其加工性能的穩(wěn)定性.采用親水性樹脂和銅粉制備固結(jié)磨料研磨墊,研究研磨液中添加不同含量三乙醇胺對(duì)樹脂基體砂漿磨損率及研磨墊材料去除率大小、穩(wěn)定性的影響,以此來(lái)判斷研磨墊的自修整性能,探索親水性固結(jié)磨料研磨墊自修整的實(shí)現(xiàn)機(jī)理.結(jié)果表明:在本文實(shí)驗(yàn)所考察范圍內(nèi),隨著研磨液中三乙醇胺含量的增加,樹脂基體的砂漿磨損率升高,當(dāng)三乙醇胺體積比從0升至5%時(shí),砂漿磨損率從0.003 3 g上升至0.009 1 g;研磨液中三乙醇胺濃度的提高有助于其材料去除率的穩(wěn)定,當(dāng)三乙醇胺體積比從0升至5.0%時(shí),材料去除率的穩(wěn)定性從11%提升至42.9%.可見(jiàn),研磨液中加入三乙醇胺可以改善含銅粉親水性固結(jié)磨料研磨墊的自修整性能.

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