基于離子束拋光的KDP晶體表面嵌入鐵粉清洗研究

編號(hào)：FTJS04790

篇名：基于離子束拋光的KDP晶體表面嵌入鐵粉清洗研究

作者：袁征； 戴一帆； 解旭輝； 周林； 關(guān)朝亮； 馮殊瑞；

關(guān)鍵詞：KDP晶體； 磁流變拋光； 離子束拋光； 鐵粉去除；

機(jī)構(gòu)： 國(guó)防科技大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院；

摘要： 磁流變拋光技術(shù)是實(shí)現(xiàn)KDP晶體超精密加工的新方法,但磁流變液中的鐵粉容易嵌入質(zhì)軟的KDP晶體表面。本文提出了利用基于低能離子濺射原理的離子束拋光技術(shù)去除KDP表面嵌入的鐵粉。利用紅外拉曼光譜和白光干涉儀分別分析了低能離子束拋光前后KDP晶體表面物質(zhì)結(jié)構(gòu)變化和表面粗糙度的變化;結(jié)果顯示,低能離子束濺射不改變KDP晶體表面的組成結(jié)構(gòu),并改善了KDP晶體表面質(zhì)量,因此離子束拋光可用于KDP晶體的加工;利用飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜分析技術(shù)分別對(duì)單點(diǎn)金剛石車削、磁流變拋光和低能離子束拋光后的KDP晶體表面進(jìn)行元素分析,結(jié)果顯示低能離子束拋光可有效去除磁流變拋光在KDP晶體表面嵌入的鐵粉。