高純鉬濺射靶材的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

編號：CPJS02504

篇名：高純鉬濺射靶材的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

作者：楊帆； 王快社； 胡平； 何歡承； 康軒齊； 王華； 劉仁智；

關鍵詞：鉬； 濺射靶材； 現(xiàn)狀； 發(fā)展趨勢；

機構： 西安建筑科技大學冶金學院； 西安電爐研究所有限公司； 金堆城鉬業(yè)股份有限公司；

摘要： 對高純鉬濺射靶材的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀進行了介紹,對高純鉬濺射靶材急需解決的幾個問題和發(fā)展趨勢做了探討,并且對其今后的研究和發(fā)展提出了建設性意見。