Lu_2Ti_2O_7薄膜的溶膠凝膠合成及電學特性

編號：CPJS02471

篇名：Lu_2Ti_2O_7薄膜的溶膠凝膠合成及電學特性

作者：李寶讓； 楊洋； 楊智偉； 程偉良；

關鍵詞：Lu2Ti2O7薄膜； 溶膠凝膠法； 電子顯微鏡； 電學性能； 表面粗糙度；

機構： 華北電力大學能源動力與機械工程學院；

摘要： 研究了Lu2Ti2O7薄膜的結構、制備和性能。以Si作為基體,采用溶膠凝膠法研究了各種因素:煅燒溫度、保溫時間、轉速和涂層的數量等對薄膜質量包括表面均方根粗糙度等的影響,并在此基礎上研究了薄膜的電學性能。研究表明:在650~1 050℃能夠形成Lu2Ti2O7相,在750℃時能夠獲得Lu2TiO5含量較少的理想薄膜。研究同時表明:溫度對表面均方根粗糙度影響相對較大。Lu2Ti2O7薄膜電學性能研究表明:保溫時間有利于Lu2Ti2O7的低溫相變和Lu2TiO5相的形成,但是對薄膜電學性能的影響相對較小。采用硝酸镥和二氧化鈦作為前驅體,通過溶膠凝膠法可以制備致密的Lu2Ti2O7薄膜,該薄膜制備過程中有中間相Lu2TiO5產生,但該相可通過改變前驅體比例、延長保溫時間或者提高煅燒溫度來消除。